大多數傳統的真空鍍膜工具使用下游壓力控制來維持真空氣體的壓力。
但是安裝節流閥可能要花費數千美元,還需要單獨的控制模塊來驅動閥門。節流閥設置在更換氣體或等待氣體沉淀時,也會造成延遲。
在燃燒室上游放置一個壓力控制器,采用速動比例控制閥,可以提供更快的響應時間和更好的穩定性。這也省去了額外的節流閥和控制模塊。
Alicat提供了這種選擇。
1、PCD系列雙閥絕壓和表壓壓力控制器
對于較大規?;騉EM項目,Alicat PCD系列雙閥絕壓和表壓壓力控制器能夠控制真空水平。
該系列產品用于高真空、需要外接儀表的場景。
PCD系列雙閥絕壓和表壓壓力控制器從傳感器獲取模擬信號,并使用比例閥提供閉環控制。
通過增加一個外部壓力傳感器,可以更地維持壓力,同時允許用戶獨立于真空鍍膜系統改變或調整氣體。
PCD系列雙閥絕壓和表壓壓力控制可以為外部真空儀表提供電源,兼容所有的測量技術,包括離子、皮拉尼和冷陰極。
2、Alicat集成真空控制器(IVC)
對于沒有現有真空儀表的小型項目,Alicat集成真空控制器(IVC)是解決方案。
與PCD系列雙閥絕壓和表壓壓力控制一樣,它省去了傳統節流閥壓力控制方法的體積、復雜性和費用。
IVC包括一個直接集成到設備中的真空傳感器,使其能夠直接控制真空壓力。這些傳感器能夠在低范圍內高精度工作,低至10毫托。
IVC還包括直接來自設備的PID控制,以及一個氣動隔離傳感器。與市場上的其他解決方案相比,IVC可以確保更高的精度,具有的燃燒測量和氣體隔離。
在真空鍍膜應用中,將壓力控制裝置置于真空鍍膜的上游,可以節省時間、成本,提高真空鍍膜工具的精度。
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