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德國Lamtech平面度測量儀

來源:德瑞華測量技術(蘇州)有限公司   2020年03月23日 09:56  

德國LAMTECH平面度測量儀

    LAMTECH平面度快速測量機,采用掠入射光干涉原理,專注于高精密加工表面平面度快速測量評估, 廣泛應用于航空航天,汽車工業噴油嘴行業,泵、閥門密封件表面,以及光學工程,激光工程等領域。

    LAMTECH平面度快速測量機 | 平坦度儀|平整度儀高精密非接觸測量半導體晶圓(wafers)、玻璃(glass)、密封件表面、陶瓷表面、高精密機械表面等行業的平面度測量。

    德國LAMTECH平面度測量儀快速檢測平面度,是由德國LAMTECH公司研發生產,德國品質,值得信賴。

德國LAMTECH平面度測量儀特點:
◆ 非接觸式平面度測量接觸
◆ 高精密評估: <0.4μm
◆ 測量速度快: <3秒
◆ 可用于車間現場, 100%全檢
◆ 平面度評估符合ISO/TS12781-1(FLTt)
◆ 三維形貌評估軟件, 可支持CNC編程批量檢測
◆ 表面自動識別系統, 或手動區域(圓, 圓環, 矩形區域)評估
◆ 數據采集量大, 一次完成對300,000點的評估
◆ 快速生成報告并保存為.csv數據格式, 支持Q-das等統計分析軟件
◆ 廣泛應用于拋光, 研磨或細磨精密表面, 像閥門盤, 密封環等

平面度檢測儀技術參數:

型    號

TOPOS 50

TOPOS 100

測量范圍(直徑)

50mm

100mm

參考平面平面度

優于0.06μm

參考面材料

石英玻璃

靈敏度

0.5,1,2或4μm每紋

精度

(0.1??0.4)um + 2%x測量值, 基于靈敏度

Z軸波動范圍

低于100um, 表面斜度所限制

FLTt重復性

優于0.01μm1)

分辨率

優于0.01μm

數據采集量

300,000點

測量時間

小于2s

整體尺寸

560mm X 300mm X 400mm

680mm X 440mm X 880mm

重量

34kg

80kg

 

應用示例:

 

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