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對大部分應用，真空泵使用品牌標準礦物油基油品，具有適宜的化學穩定性和熱穩定耐水解，與密封材料的相容性很好。
以真空油為例，溫度超高的原因可能是：
1)真空系統負荷大，油膜破裂，出現磨損等失效傾向摩擦面溫度升高。此時應根據載荷情況正確選油，提高黏度等級或選用高級別真空油；
2)新齒輪機構，沒有磨合好，出現磨料磨損，引起摩擦面溫度升高。此時應加強過濾，磨合期勤換油；
3)油位過高或黏度過大，增加了攪拌熱，散熱困難，油溫與摩擦面溫度同步上升。此時應降油位，選擇適用的低牌號真空油。
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