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| 壓力傳感器工作原理及特點 | |
| 壓力傳感器工作原理及特點 壓阻式壓力傳感器采用集成電路工藝技術(shù)，在硅片上制造出四個等值的薄膜電阻并組成電橋電路，當不受力作用時，電橋處于平衡狀態(tài)，無電壓輸出;當受到壓力作用時，電橋失去平衡而輸出電壓，且輸出的電壓與壓力成比例。 壓阻式壓力傳感器具有以下特點: ①壓阻式壓力傳感器的靈敏系數(shù)比金屬應變式壓力傳感器的靈敏度系數(shù)要大50-100倍。有的時候壓阻式壓力傳感器的輸出不需要放大器就可直接進行測量。 ②由于它采用集成電路工藝加工，因而結(jié)構(gòu)尺寸小，重量輕。 ③壓力分辨率高，它可以檢測出像血壓那么小的微壓。 ④頻率響應好，它可以測量幾十千赫的脈動壓力。 ⑤由于傳感器的力敏元件及檢測元件制在同一塊硅片上，所以它工作可靠，綜合精度 高，且使用壽命長。 ⑥由于采用半導體材料硅制作，傳感器對溫度比較敏感，如不采用溫度補償，其溫度誤差較大。 | |
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