分子真空泵（簡稱分子泵）是1913年德國人蓋得（W.Gaede)首先發明的。他又以氣體的外摩擦作用為分子泵奠定了理論基礎。

德國人貝克（W.Becker)1956年發明了一種適于超高真空下工作的渦輪分子泵。這種泵的極限壓力可以達到10-9Pa以下，對油蒸氣等高分子量氣體的壓縮比很高，幾乎能達到測不出的程度。因而殘余氣體中油蒸氣的分壓力很低。由于軸承用的潤滑油僅在泵的出口側存在，故泵在運轉過程中人口處檢查不出油的痕跡。因此，渦輪分子泵可以獲得清潔無油的超高真空。這種泵和牽引分子泵相比，在結構和原理方面并不*相同。渦輪分子泵是以高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。

這種泵如果長期不用，軸承處的油蒸氣會擴散到泵的入口側，降低泵所能達到的清潔程度。為了消除油蒸氣的污染，在工作時，需對泵的入口進行烘烤除氣，烘烤溫度要嚴格控制，過高會使葉片變形。有的在停泵時，用壓力為13hPa的干燥氣體充入泵內，以消除油蒸氣返流造成的污染。

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