隨著社會科技的發展，越來越多的行業，對清潔真空、環保等的需求嚴格，要求避免返油漏油的污染，因此干式真空泵得到了快速地發展。因為起步較晚，很多企業用戶對干式真空泵的印象僅僅停留在爪式真空泵、螺桿真空泵少數幾類上。
 

       干式真空泵主要用于高純度真空工藝，真空度大，因此可適用于工業礦山，可處理含有可凝汽的氣體、含有小顆粒的氣體。它具有低耗能、抽速大、使用壽命長、免維修、無需潤滑等特點，因此在石化、冶金、醫藥、生物工程、造紙、微電子工程等行業將全面替代技術含量低的真空設備。

干式真空泵由定子、轉子、旋轉片、氣缸體、馬達等主要部件構成。帶有轉子葉片的轉子偏心安裝在固定氣缸中。當轉子高速旋轉時，泵腔被轉子槽中的四個徑向滑動的轉子葉片分成四個工作腔。由于離心力的作用，轉子葉片靠近圓筒壁，定子進出口分離，重復運行，改變體積，從排氣口排放吸入氣體。
 

       由于干式真空泵沒有真空介質（真空泵油、水等），干式真空泵的氣體不受真空介質的污染。因而回收溶劑是潔凈的。這樣的真空下冷凝部變換為常壓下冷凝，溶劑系材料的回收率大幅度提高，特別有利于在真空下難以冷凝的材料。通過這種工藝配置，排放的廢氣基本上沒有有機廢氣。另外，泵排空氣體通過列管式冷凝器的殼程后，噪聲也大為下降。
 

       干式真空泵與油泵相比真空度低，抽氣量小，但體積小巧，易于安裝，維護簡單，移動方便，不產生油煙，不污染環境，尤其在要求較高的實驗室使用較好。也是實驗室常備的設備之一。因此在選購干式真空泵時要先確定要求工作的真空度，如果需求的真度高，而選的真空泵就要高于需求的真空度，否則達不到抽真空的要求，就會達不到工作要求。