亚州一区二区三区中文字幕国产精品-日韩人妻一区二区三区蜜桃视频-亚洲中文字幕久久无码精品-午夜精品亚洲一区二区三区嫩草-日韩人妻一区二区三区蜜桃视频-国产一区二区精品高清在线观看-国产欧美日韩综合精品一区二区

產品推薦:氣相|液相|光譜|質譜|電化學|元素分析|水分測定儀|樣品前處理|試驗機|培養箱


化工儀器網>技術中心>工作原理>正文

歡迎聯系我

有什么可以幫您? 在線咨詢

干法刻蝕工藝

來源:上海浜田實業有限公司   2020年11月26日 09:29  

   刻蝕是用化學或物理的方法有選擇地從硅片上去除不需要材料的過程。刻蝕是在硅片上進行圖形轉移的后主要工藝步驟。半導體刻蝕工藝有兩種基本方法:干法刻蝕和濕法腐蝕。干法刻蝕是亞微米尺寸下刻蝕器件的主要方法,濕法腐蝕使用液體腐蝕的加工方法,主要用于特征尺寸較大的情況。

   按照被刻蝕材料來分,干法刻蝕主要分成:金屬刻蝕、介質刻蝕和硅刻蝕。刻蝕也可以分成有圖形刻蝕和無圖形刻蝕。有圖形刻蝕可用來在硅片上制作不同圖形,例如柵、金屬互連線、通孔、接觸孔和溝槽。無圖形刻蝕用于剝離掩蔽層。有圖形或無圖形刻蝕都可以分別采用干法刻蝕或濕法腐蝕。

免責聲明

  • 凡本網注明“來源:化工儀器網”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:化工儀器網”。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。
  • 本網轉載并注明自其他來源(非化工儀器網)的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時,必須保留本網注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
  • 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發表之日起一周內與本網聯系,否則視為放棄相關權利。
企業未開通此功能
詳詢客服 : 0571-87858618
主站蜘蛛池模板: 内黄县| 磴口县| 咸宁市| 德安县| 邯郸市| 凤阳县| 龙门县| 永善县| 斗六市| 仪陇县| 江油市| 安阳县| 西昌市| 呼玛县| 剑阁县| 沁源县| 宣恩县| 阿巴嘎旗| 竹北市| 南宁市| 于都县| 中卫市| 张家口市| 涿鹿县| 南乐县| 太谷县| 沐川县| 化德县| 金乡县| 长岛县| 临城县| 镇平县| 乐平市| 仁寿县| 阜宁县| 张家口市| 桂东县| 饶河县| 措勤县| 仪征市| 阜阳市|