三坐標測量儀是指在一個六面體的空間范圍內，能夠表現幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器，主要分類如下：

　　一、按操作方式分類：

　　1、手動式：結構簡單，無機動傳動機構，全部由操作者控制動作。

　　2、機動式：有三套傳動系統，由電機、減速器、驅動器、控制器、電源、操作桿等組成。工作時，操作者通過操作桿控制運動方向和速度。

　　3、自動式:即CNC控制，全部運動自動試驗，由伺服傳動機構成，通過軟件實行控制。

　　二、按總體布局分類：

　　1、懸臂式：

　　又分為工作臺固定的(a);工作臺移動的(b);立柱固定的(c)。

　　這種結構的特點是工作臺開闊，裝卸工件方便，且可防止底面積大于臺面的零件;缺點是剛性稍差，精度受影響，設計時應注意補償變形誤差。

　　2、龍門式：

　　又分為龍門固定式(a);龍門移動式(b)。

　　龍門固定式的優點是剛性好，驅動系統和光柵尺 可放在工作臺中央，阿貝誤差和偏擺小，X和Y向的運動相互獨立，互不影響;缺點是工作臺承載能力較小。

　　龍門移動式的優點是裝卸工件時，龍門可移到一端，操作方便，承載能力強;缺點是單邊驅動扭擺大;光柵偏置阿貝誤差大。

　　3、橋式：

　　又分為L形橋式(a);交叉橋式(b)。

　　這種結構形式剛性較好，制造精度相對容易達到，適合于大尺寸測量儀。

　　4、水平臂式：

　　又分為水平臂移動式(a);工作臺移動式(b);工作臺固定式(c)。

　　這種三坐標的結構較特殊，底座的長度是寬度的2~3倍。其目的是為了適應大型的自動化生產線的需要。這種三坐標的共同缺點是Y軸的剛度難以提高，由自重產生彎曲變形，影響測量精度。

　　三、按精度高低分類：

　　1、按照檢定規程(JJG799-1992)的規定，三坐標測量儀按精度分為A，B，C三類：

　　①A類：綜合誤差不大于(1.5+L/300)μm;

　?、贐類：綜合誤差不大于(3+L/200)μm;

　?、跜類：綜合誤差不大于(5+L/150)μm;

　　2、按教材，每米測量長度的誤差大小來分成三類：

　?、俑呔龋褐溉鴺藛屋S示值精度在1m的測量范圍內誤差值在±5μm以下。

　　①中等精度：指單軸示值精度在1m的測量范圍內示值誤差在±5~±15μm之內。

　?、俚途龋褐溉鴺藛屋S示值精度在1m的測量范圍內誤差值在±15μm以上。

     四、按尺寸大小分類：

      1、大型三坐標：X軸的測量范圍大于2000mm以上的為大型測量儀。

      2、中型三坐標：X軸的測量范圍在600~2000mm左右的的為中型測量儀。

      3、小型三坐標：X軸的測量范圍小于600mm以下的為小型測量儀。