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原子熒光分光光度計是利用原子熒光譜線的波長和強度進行物質(zhì)的定性與定量分析。原子熒光是原子蒸氣吸收特征波長的輻射之后，原子激發(fā)到高能級，激發(fā)態(tài)原子接著以輻射方式去活化，由高能級躍遷到較低能級的過程中所發(fā)射的光。而原子吸收分光光度法是基于基態(tài)原子對共振光的吸收。原子熒光與原子吸收的區(qū)別有：
（1）光路不同：原子吸收光源、原子化器和檢測器在一條光路上；原子熒光為垂直光路。
（2）原理不同：原子吸收利用原子的特征吸收光譜；原子熒光則利用原子的激發(fā)-躍遷光譜（熒光）。原子熒光的特長是測量As，Se，Hg等一些過度元素和特殊的金屬元素。原子熒光和原子吸收在實驗室里沒有ICPMS的情況下作為互補，可以測量大部分金屬元素和過度元素。具體誰更有*性，檢測限更低要根據(jù)具體的元素來定。
（3）靈敏度不同：對于原子吸收，增加光源強度同時會增加背景吸收，而原子熒光信號強度與激發(fā)光源強度成正比，故靈敏度可以大大提高。
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