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鎢燈絲掃描電鏡的總發射電流和束斑都較大，抗干擾能力和穩定性都較好，低真空下可以對不導電樣品無荷電成像，可用于形貌觀察、顯微結構分析、斷口形貌分析，在材料、地質、礦產、冶金、機械、化學、化工、物理、電子、生物、醫學等領域都有廣泛的用途。
鎢燈絲掃描電鏡的工作原理：通過對電子槍內的鎢燈絲加高電壓，使電子槍處于熱激發狀態，在陽極作用下，處于熱激發的電子槍就可以激發出電子束。經過掃描線圈磁場的控制，電子束在樣品表面逐點掃描，激發出二次電子、背散射電子等物理信號，經探測器收集、放大器放大后，調制得圖像。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規檢測。
西努提供的日立全新一代大型SU3900鎢燈絲掃描電鏡采用超大的樣品倉和多接口設計，適合超大樣品的觀察（直徑300mm）以及多種分析功能的拓展。具有IFT燈絲監控技術、全新的光鏡導航、集成的能譜以及報告導出等功能，使其操作也變得更簡單。
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