將壓電陶瓷片（俗稱超聲波霧化片）安裝在水容器底部，驅動控制電路產生與霧化片的諧振頻率一致的驅動電壓，并將其施加到霧化片上，霧化片會產生振蕩能量。振蕩能量沿垂直于霧化片表面的方向在水中傳播。在水深合適的情況下，能量傳播軸上的水面集中了一個水柱，大量微小的張力波集中在水柱的前端，使水面上升。水的表面張力大大降低，水面被表面張力波的波長分成許多微小的區域。

超聲波霧化是利用超聲波能量形成細小液滴的過程。

超聲波可以通過兩種方式霧化液體：

1.振動面上的薄液層在超聲波振動下激發毛細管重力波。

2.霧化方法是超聲波噴泉形成霧。

方法一

這個原理有兩種理論解釋。它們分別是微沖擊波理論和表面張力波理論。

 一方面，微chong擊理論解釋說，超聲波在液體介質中的空化效應導致微沖擊波的產生，從而產生霧化現象。該理論認為，空化效應是液體霧化的直接原因。當空化氣泡坍塌時，除了產生熱量和光輻射外，其余部分以微沖擊波的形式輻射。當微沖擊波達到一定強度時，會引起液體霧化 當微沖擊波達到一定強度時，會引起液體的霧化。

 另一方面，表面張力理論認為，液滴的產生是由于液體表面波的不穩定性，導致液體霧化。在垂直于表面張力波的力的作用下，一旦振動表面的振幅達到一定值，液滴就會從波峰飛出形成霧化。該理論認為，表面張力波在其波峰處產生液滴，其液滴大小與波長成正比。

方法 2

 噴泉霧化是一種常見的形式，它使用壓電晶圓作為傳感器來產生兆赫茲范圍內的超聲波。通常，噴泉霧化的形成機理如下。當超聲波換能器的超聲波頻率為兆赫茲時，超聲波的方向性及其空化場非常好，因此與其接觸的溶液將被噴灑形成"超聲波噴泉"。

在生產超聲波噴泉的同時產生大量的氣溶膠。其中，"超聲波噴泉"可以看作是向上噴射的超聲波空化場，它具有單向輻射力和對稱的旋轉聲流。在這個空化場中，氣蝕氣泡的分布非常不同。當水等液體被空化時，由于聲輻射壓力的影響，由于空化氣泡的密度，由于超聲波輻射力和簇射流的物理效應，大量空化氣泡的集中熱效應和機械效應在噴泉的正面更為突出。，由于超聲波自由射流和束射流，沿射流方向的聲能密度也大大提高。

 在超聲波噴泉中，大量空化氣泡的坍塌、高溫聲射流和爆裂時的高壓沖擊波是超聲波噴泉的主要機理。而其他機械攪拌效應、熱效應等也同時存在。使用此原理設計的超聲波加濕器通常用作室內加濕裝置。它可以加濕計算機房和毛紡車間，以消除設備中的靜電;添加用于室內消毒和消毒的藥物，進行面部美容和塑造盆景。