REELS

電子能量損失譜學(xué)是研究材料性質(zhì)的重要手段，它通過分析電子束與材料相互作用過后的非彈性散射電子的能量損失分布，獲取材料的本征信息。其原理是利用已知?jiǎng)幽艿碾娮邮Z擊材料，入射電子經(jīng)歷和材料原子的非彈性碰撞，而發(fā)生角度偏轉(zhuǎn)與能量交換，能量交換過程來源于對材料的電子態(tài)激發(fā)，它因而包含了材料的能帶結(jié)構(gòu)信息。REELS（反射式電子能量損失譜）是利用特定能量的電子束為激發(fā)源，與樣品發(fā)生非彈性碰撞后測量其反射電子的能量分布。這種能量分布包含由于激發(fā)原子態(tài)、芯能級和價(jià)帶躍遷、材料帶隙等引起的離散能量損失特征。因此，利用REELS可以進(jìn)行表面電子態(tài)、化學(xué)態(tài)分析；半導(dǎo)體帶隙的測量；H的半定量分析；碳sp²/sp³雜化的鑒定等。

應(yīng)用

如圖2所示，對于SiO₂表面，UPS結(jié)合LEIPS測試可以得到其帶隙為8.8 eV，REELS測試得到的帶隙為8.9 eV。可見，這兩種方式測量的帶隙結(jié)果非常接近。此外，表1還展示了幾種典型的半導(dǎo)體和電池材料分別利用這兩種方法測試的帶隙結(jié)果。顯然，UPS/LEIPS與REELS測量的材料的帶隙結(jié)果幾乎相同。因此，這兩種技術(shù)對帶隙的測試結(jié)果可以互相佐證、相輔相成，從而提供更加可靠的帶隙表征結(jié)果。

小結(jié)

PHI VersaProbe系列XPS可搭載一整套UPS/LEIPS分析裝置，原位獲取材料完整的電子能帶結(jié)構(gòu)。同時(shí)也能配備REELS分析裝置，用于表征帶隙，與UPS/LEIPS相輔相成，確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。總而言之，UPS/LEIPS聯(lián)合REELS為材料的帶隙表征提供了雙重保障。