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三維輪廓儀是一種用于表面結構測量和表面形貌分析的測量和計量設備。它不僅可以用于科學研究，還可以用于工業產品的檢測，該儀器可被視為表面研究的萬用表。它利用接觸和非接觸功能的設計特點，彌補了兩種模式的局限性，發揮了表面形貌儀的測量極限。光學非接觸式具有速度快、直接三維成像、對樣品無損傷等特點。探針接觸模式方便快捷，樣品制備簡單，測量材料廣泛。兩種模式結合使用，可用于研究更多形狀、性質和材料的樣品的表面形態。
1、三維表面結構：粗糙度、波浪度、表面結構、缺陷分析、晶粒分析等。
2、二維圖像分析：距離、半徑、斜率、網格、輪廓等。
3、表面和界面測量：透明表面形態，薄膜厚度，透明薄膜下的表面。
4、薄膜和厚膜的階梯高度的測量。
5、劃痕形態、摩擦和磨損深度、寬度和體積的定量測量。
6、微電子表面分析和MEMS表征。
三維輪廓儀是一種自動測量設備。在測量表面輪廓時，操作者需要先安裝好輪廓模塊，然后安裝好待測工件，在驗證軟件上設置好掃描的開始和結束位置，點擊"開始"按鈕，測量針會自動接觸工件表面，并按照設定的位置進行掃描；在輪廓掃描過程中，軟件界面會實時繪制輪廓曲線；掃描結束后，操作者可以通過輪廓分析工具分析生成的輪廓曲線，得到直線度、圓度、角度、距離和間距等輪廓參數。
三維輪廓儀的維護說明。
1、測量結束后，退出系統，關閉電腦，切斷電源。
2、測量結束后，用棉花和航空汽油清潔工作臺和夾具，并涂上防銹油。
3、注意儀器附件的防銹。
4、定期清洗導軌（具體周期視環境而定），保證導軌的精度。
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