差壓式氣體質量流量計(以下稱MFC/MFM)通過測量層流元件的差壓、壓力、溫度來計算流量,這種測量方式具有固有的線性,重復性好,高精度,無需預熱,溫漂小等特點;可以同時測量4種參數:氣體的瞬時流量、累計流量、溫度和絕壓,并且可以同時顯示和輸出。雖然傳統的熱式原理不需經過溫壓補償即可以直接測量氣體的質量流量,但是熱式原理產品具有先天性的缺陷:長期加熱的工作模式產生的熱漂移,反應速度慢等缺點是不可避免的。而采用差壓原理的 氣體質量流量控制器/流量計 幾乎無零點和溫度漂移,反應速度快,無需預熱,上電即可操作,解決了長期困擾客戶的問題。目前,一些的熱式流量計廠家正在紛紛開發差壓式質量流量計。 ALICAT差壓原理和熱式原理的對照表
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