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XD Laser激光干涉儀
XD Laser激光干 涉儀，一次安裝即可以測得6個參數(shù),包括1個位置度誤差、2個直線度誤差和3個角度誤差。
通常時間需數(shù)天進行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成。實際應(yīng)用結(jié)果表明:工作效率提升5倍。
該儀器體積小、重量輕，可以直接安裝到機床導(dǎo)軌上。XD Laser 6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉鏡和6D傳感器組成，
從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反射后返回干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋，
經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進行電子計數(shù)，記錄長度位置。第二束光作直線度測量的參考光束，
傳感器與參考光束之間的相對位移由裝載傳感器內(nèi)的橫向光電二極管測得。第三束光用作裝在6D .
傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)
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