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冷場發射掃描電鏡是一種用于材料科學、化學領域的分析儀器，超顯微、形貌與成份分析相結合。
日立冷場發射掃描電鏡主要用于觀察材料表面的微觀形貌、斷口及內部組織,并對材料表面微區成分進行定性和定量分析。常用于陶瓷分子礦物、纖維、生物等無機或有機固體材料表面及斷面形貌觀察、元素分析,金屬材料相分析、成分分析和夾雜物形態鑒定。該儀器可高分辨率觀察樣品表面超微結構,尤其對生物等不導電樣品,無需鍍膜即可實現高保真觀察。
儀器具有高分辨率、高反差、高靈敏，配置能譜、真空轉移、高真空離子濺射儀。滿足廣大用戶對掃描電鏡的使用需求，大景深圖像掃描、提高能譜采集效率、實現有效檢測易與空氣發生作用的活潑樣品。對材料進行納米尺度的形貌觀察和成分分析。
主要特點有：
1.配備加速電壓減速功能，優良的低加速電壓成像能力，1kV分辨率可達1.1nm；
2.日立E×B技術，無需噴鍍，可直接觀測不導電樣品；
3.配備電子槍內置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能；
4.SE與BSE任意比例搭配功能。
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