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X射線衍射儀三個物理量：衍射譜上可以直接得到的有三個物理量，即衍射峰位置(2θ)、衍射峰強(qiáng)度(I)及衍射峰形狀(f(x))。粉末衍射可解決的任何問題或可求得的任何結(jié)構(gòu)參數(shù)一般都是以這三個物理量為基礎(chǔ)的。
X射線衍射儀主要技術(shù)參數(shù):一臺好的儀器應(yīng)能得到準(zhǔn)確(測得的數(shù)值與其真值相符)并精確(測量重復(fù)性好)的2θ、I及f(x)，需 要考慮下列幾個主要技術(shù)參數(shù)：
1、X射線發(fā)生器的穩(wěn)定度：這不僅關(guān)系到所測衍射強(qiáng)度的準(zhǔn)確可靠，而且關(guān)系到所有部件的準(zhǔn)確和穩(wěn)定。現(xiàn)代粉末衍射儀的光源穩(wěn)定性一般在外電源變化10%以內(nèi)，輸出變化0.01%以內(nèi)。
2、X射線管的功率：對于密封式X射線管，Cu靶一般為2kw，Ag、Mo、W等靶一般大于2kw，而對Co、Fe、Ni等靶則小于2kw。對于轉(zhuǎn)靶，常用的有12kw和18kw。
3、單色器的效率：應(yīng)不小于25%。
4、探測器的效率：視品種而異。
5、計數(shù)的線性范圍：關(guān)系到強(qiáng)度測量的準(zhǔn)確性，一般在 cps。有許多儀器附加了校正軟件，宣稱可以達(dá)到 cps。
6、衍射角(2θ)的測量準(zhǔn)確度和精確度。
7、分辨率：常用的Si(311)衍射峰的半高寬來代表。對于一般實(shí)驗(yàn)室粉末衍射儀，此值約在0.05°~0.1°之間。
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