霍爾傳感器是一種能實現磁電轉換的傳感器,用它們可以檢測磁場及其變化。霍爾傳感器具有許多優點,它們的結構牢固,體積小,壽命長,安裝方便,功耗小,頻率高,耐震動,不怕灰塵、油污及鹽霧等的污染或腐蝕。霍爾開關器件具有無觸點、輸出波形清晰、無抖動、位置重復精度高等優點。
霍爾傳感器以霍爾效應為其工作基礎。霍爾效應是半導體自由電荷受磁場洛侖磁力作用而產生,它是由美國物理學家霍爾(Edwin H. Hall)在1879年發現的。霍爾開關電路又稱霍爾數字電路,由穩壓器、霍爾片、差分放大器,斯密特觸發器和輸出級組成。根據實現功能的不同,霍爾傳感器可分為霍爾線性器件和霍爾開關器件,其中霍爾線性器件輸出的是模擬量,霍爾開關器輸出的是數字量,即脈沖信號。
1986年,Sugiyama等采用了GaAs/AlGaAs異質結構制作霍爾元件,其電流相關靈敏度達到1000V/A*T,但是靈敏度的穩定性差。而采用了超晶格結構的霍爾器件克服了這一缺陷。在之后的技術發展中,霍爾器件具有高靈敏度、低不等位電勢和很高的溫度穩定性,有些霍爾器件還具有很高的信噪比。
由于霍爾元件具有在靜止狀態下感受磁場的能力,且結構簡單,形小體輕,頻帶寬(可從直流到微波),動態特性好、動態范圍大,壽命長和可進行非接觸測量等優點,故在檢測技術、自動控制技術和信息處理等方面得到日益廣泛應用。霍爾傳感器在未來發展中的趨勢將是高靈敏度、高精度和高穩定度,它將在微電子技術發展的基礎上更加飛速的發展。
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