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當 20 kHz 至 100 kHz 的強大超聲波發射到液體中時，正壓和負壓交替施加到氣體分子上。被正壓壓縮的氣體分子在下一刻由于負壓而劇烈膨脹。這種重復導致氣體分子在壓縮時具有非常高的壓力，它會爆裂并消失。這種非常高的沖擊壓力的產生稱為“氣蝕現象”，氣泡破裂時沖擊波作用在工件上分離異物的效果稱為“氣蝕效應”。
這主要是在低頻和中頻下的清潔動作。
在超聲波清洗機的實際使用中，氣蝕發生的方式因液體的深度和類型而異。因此，要想獲得良好的超聲波清洗效果，控制這些因素至關重要。
通過顆粒加速進行清潔
超聲波加速清洗使水分子加速撞擊工件，沖擊導致顆粒從工件上剝離。頻率越高，超聲波清洗效果越好，能有效去除附著力較弱的極細顆粒。加速度與頻率倍數的平方成比例地增加，波長也減小，使其對更細的粒子有效。
這主要是中頻和高頻的清潔動作。
線性流清洗
當超聲波能量超過 0.5 W/cm2 時，會產生遠離振動表面的線性流動。這被認為有助于灰塵分散。
這主要是中頻和高頻的清潔動作。
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