檢查凍干機的真空系統(tǒng)是否泄漏可以采用以下幾種方法：

1. 壓力上升測試

    - 將凍干機抽至一定的真空度后，關閉真空泵，觀察真空表的壓力變化。如果在一段時間內壓力明顯上升，說明可能存在泄漏。

2. 氦質譜檢漏

    - 這是一種非常靈敏的檢漏方法。向真空系統(tǒng)中噴入氦氣，然后使用氦質譜檢漏儀檢測是否有氦氣泄漏，從而確定泄漏位置。

3. 皂泡檢漏

    - 在可能泄漏的部位涂抹肥皂水，觀察是否有氣泡產生。如果有氣泡，說明此處存在泄漏。

4. 真空檢漏儀檢測

    - 使用專門的真空檢漏儀，能夠檢測到微小的泄漏。

5. 分段檢漏

    - 將真空系統(tǒng)分成若干段，逐段進行檢測，以縮小泄漏位置的范圍。

例如，先進行壓力上升測試，初步判斷是否有泄漏。如果壓力上升較快，再采用皂泡檢漏法對可疑部位進行詳細檢查。對于一些關鍵部位或難以檢測的地方，可以借助氦質譜檢漏儀來精確查找泄漏點。