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電子掃描電鏡是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進行微觀成像。具有制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點，故被廣泛地應(yīng)用于化學、生物、冶金、材料、半導體制造、微電路檢查等各個研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。
電子掃描電鏡測試原理：
電子槍發(fā)射出的電子束經(jīng)過聚焦后匯聚成點光源；點光源在加速電壓下形成高能電子束；高能電子束經(jīng)由兩個電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點，在透過最后一級帶有掃描線圈的電磁透鏡后，電子束以光柵狀掃描的方式逐點轟擊到樣品表面，同時激發(fā)出不同深度的電子信號。此時，電子信號會被樣品上方不同信號接收器的探頭接收，通過放大器同步傳送到電腦顯示屏，形成實時成像記錄。
該產(chǎn)品以其高分辨率、大視場、立體成像以及分析能力出眾等優(yōu)勢，成為科研和工業(yè)領(lǐng)域常用的精密儀器。隨著技術(shù)的不斷進步，掃描電鏡的性能將更加*越，其應(yīng)用領(lǐng)域也將持續(xù)擴展，為人類深入探索微觀奧秘貢獻更大力量。
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