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EBARA 荏原干式真空泵EST500WN

來源:北崎國際貿易(北京)有限公司   2025年06月21日 11:37  

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EST 型 干式真空泵能夠處理反應副產物并排出大流量氣體 兼容高溫控制 抽速大 大流量排氣 采用耐腐蝕材料標準 耐腐蝕性增強選項 能夠在重負荷下進行處理 在不同頻率下具有相同的性能 (50/60 Hz) 油 提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL

EST 型號使用螺桿式轉子,并配備了高溫功能,可將泵中的氣體保持在高溫,使其非常適合 CVD 等形成反應副產物的應用。 標準使用耐腐蝕材料,實現高抽速和高流量泵送,減少停機時間并有助于提高工藝效率。



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