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儀器與環境檢查：臺式輪廓儀對工作環境有一定要求，需放置在溫度穩定（通常在 20℃±2℃）、濕度適宜（相對濕度 40%-60%）的房間內，避免陽光直射、氣流沖擊以及劇烈振動。使用前，檢查儀器放置是否平穩，地腳螺絲是否調整到位，確保儀器在測量過程中不會發生晃動。同時，查看儀器電源電壓是否與額定電壓相符，電源線路是否有破損、老化等情況。
測量附件準備：根據被測工件的形狀和尺寸，選擇合適的測量探針、測座以及夾具。例如，測量小型精密零件時，可選用金剛石探針，其硬度高、磨損小，能保證測量精度；對于曲面工件，需搭配相應的弧形夾具，以固定工件并使其測量面處于最佳測量位置。檢查探針是否有磨損、損壞，若探針針尖出現缺口或磨損嚴重，需及時更換，以免影響測量結果。
工件預處理：將被測工件表面的油污、灰塵、毛刺等清理干凈。可使用無水乙醇擦拭工件表面，再用干凈的軟布擦干，確保表面無雜質附著。對于有銹蝕的工件，需先進行除銹處理，但要注意避免過度處理導致工件表面形貌改變。同時，檢查工件是否有變形，若工件存在明顯變形，需先進行矯正或評估變形對測量結果的影響。
開啟設備與軟件：按順序開啟臺式輪廓儀的主機電源、計算機電源，待儀器自檢完成后，啟動測量軟件。軟件啟動后，會自動連接儀器硬件，若連接失敗，需檢查硬件連接是否正常，軟件是否為最新版本。等待儀器預熱，一般預熱時間為 15-30 分鐘，使儀器內部的光學系統、電子元件等達到穩定工作狀態，減少溫度變化對測量精度的影響。
測量參數設置：在測量軟件中，根據測量需求設置相關參數。首先選擇測量模式，常見的有輪廓測量、粗糙度測量等。若進行輪廓測量，需設置測量長度、采樣間隔、測量速度等參數。測量長度應根據工件表面特征確定，確保能覆蓋需要檢測的輪廓范圍；采樣間隔越小，測量數據越精細，但測量時間會相應增加；測量速度需適中，過快可能導致探針振動，影響測量準確性。若進行粗糙度測量，需選擇相應的評定參數（如 Ra、Rz 等）、取樣長度和評定長度。
工件裝夾與對位：將預處理好的工件固定在工作臺上，通過調整夾具使工件的測量面與探針運動方向保持平行或垂直（根據測量需求確定）。利用儀器的顯微鏡或攝像頭觀察工件，調整工作臺的 X、Y 軸位置，使測量起點對準探針下方。緩慢降下測座，使探針輕輕接觸工件表面的測量起點，注意接觸力度要適中，避免過大壓力損壞探針或工件。
開始測量：在軟件中點擊 “開始測量” 按鈕，儀器將按照設置的參數自動進行測量。測量過程中，探針會沿著設定的路徑在工件表面移動，同時采集表面形貌數據，并實時在軟件界面上顯示測量曲線。操作人員需在旁觀察，確保測量過程中工件不會松動、探針不會與工件發生碰撞。若發現異常情況，如探針偏離測量路徑、工件移位等，應立即點擊 “停止測量” 按鈕，排查問題后再重新測量。
數據采集與觀察：測量完成后，軟件會自動保存測量數據，并生成相應的輪廓圖形或粗糙度參數報告。操作人員可在軟件中對測量曲線進行放大、縮小、平移等操作，仔細觀察工件表面的細節特征，如凸起、凹陷、劃痕等。同時，查看各項測量參數是否在規定范圍內，若有超出范圍的參數，需標記并分析原因。
重復測量與數據對比：對于重要的測量項目，建議進行多次重復測量（一般 3-5 次），取平均值作為最終測量結果，以減少隨機誤差的影響。將多次測量的數據進行對比，若數據偏差較大，需檢查測量參數設置是否合理、工件裝夾是否牢固、探針是否正常等，找出偏差原因并進行糾正。
關閉設備：測量完成后，先將探針升起，遠離工件表面，然后卸下工件，清理夾具上的雜質。在軟件中點擊 “退出” 按鈕，關閉測量軟件，再依次關閉計算機電源和儀器主機電源。關閉電源后，檢查儀器表面是否有灰塵、污漬，若有則用干凈的軟布擦拭干凈。
數據處理與存檔：將測量數據導出為通用格式（如 Excel、PDF 等），以便后續分析和報告編制。對測量數據進行整理，記錄被測工件的名稱、編號、測量日期、測量人員、測量參數以及測量結果等信息，建立完整的測量檔案。將檔案妥善保存，便于日后查閱和追溯。
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