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富士金隔膜閥的工作原理是通過機械加速機構（如危急遮斷器或手動遮斷滑閥）的單動作或同時動作，使透平油系統中的保安油油壓下降或消失，從而使壓縮彈簧打開薄膜閥，將AST油通過無壓力回油母管排至EH油箱，進而關閉所有閥門。
適用于各種半導體裝置、設備用超高純流體及可燃性、毒性流體生產線使用。
該閥利用直接式隔膜結構，達到高氣密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。 并且在Mega系列膜片閥基礎上實現了小型化。
口徑：1/4”～1/2”使用壓力可達20.5Mpa 材質：SUS316L EP級處
應用行業:半導體、太陽能、液晶面板制造等行業，或者其他一些有超高純流體要求的行業.
應用流體:設備和機臺里面的超高純氣體、易燃易爆氣體以及有毒氣體等特種電子氣體.
工作壓力:低壓(1MPa),高壓(16.2MPa)
工作溫度: -10℃-80℃
動作方式:手動和氣動
氣動閥有常開和常閉兩種初始狀態可選
連接方式:焊接、卡套、VCR等連接方式
表面處理:EP(標準)，10Ra,Ry＜1.0um; UP (可選):5Ra,Ry＜0.7um.
接口尺寸:1/4”-3/4”
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