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一、核心產(chǎn)品系列
?油旋片真空泵?
型號：VDN、PVD、VSN系列，GLD系列（高性能、低震動、低噪音）
特點：優(yōu)化散熱設(shè)計，油位觀察窗便于監(jiān)測油污染狀況
應(yīng)用：真空鍍膜、分析儀器、半導(dǎo)體制造設(shè)備等35
?干式真空泵?
防腐涂層處理轉(zhuǎn)子軸與氣缸，增強耐腐蝕性
特殊轉(zhuǎn)子設(shè)計提升粉末排出性能
用途：半導(dǎo)體刻蝕/去膠設(shè)備、鋰電池電極干燥、醫(yī)療冷凍干燥等4
?MS系列螺桿泵?（如MS600A）：
二、創(chuàng)新 技術(shù)
?多重密封結(jié)構(gòu)?
通過導(dǎo)氣槽設(shè)計引導(dǎo)氣流，防止真空腔內(nèi)雜質(zhì)磨損轉(zhuǎn)軸及齒輪，提升密封性1。
?真空檢漏裝置?
結(jié)合氮氣源與真空計檢測壓力回升值，通過算法精準(zhǔn)判斷工件泄漏，提高檢測效率2。
三、應(yīng)用領(lǐng)域
?半導(dǎo)體制造?：刻蝕設(shè)備、等離子清洗設(shè)備真空排氣4
?新能源?：鋰電池注液、電極干燥工藝4
?工業(yè)設(shè)備?：真空熱處理爐、真空干燥系統(tǒng)
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