真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。以下是關于真空泵的詳細介紹:
工作原理:真空泵基本上可以分為氣體捕集泵和氣體傳輸泵兩種類型。常見的真空泵有往復式真空泵、水環真空泵、旋片真空泵和低溫泵等。其中,往復式真空泵是利用泵腔內活塞做往復式運動,將氣體吸入、壓縮并排出;水環真空泵是利用葉輪旋轉時水形成的封閉圓環,使葉輪輪轂與水環之間形成月牙形空間,通過空間容積變化實現抽氣;旋片真空泵則是通過轉子旋轉帶動旋片,使旋片與泵壁之間的腔室容積變化來抽氣;低溫泵是利用低溫表面捕集氣體。
發展歷程:真空泵最早是 1654 年由奧托?馮?居里克發明的,后來波義耳和胡克進行了大量的優化設計。1682 年,波義耳提出了雙缸泵,1705 年豪克斯比制造出了進一步改進的雙缸泵。19 世紀末,弗勒斯引入了氣缸油泵。1912 年,蓋德發明了分子泵,1915 年,蓋德利用汞蒸汽射流攜帶的氣體分子來實現高真空,這些蒸汽流泵隨后得到了大規模的發展。
主要分類:按照真空度可分為低真空泵(壓強大于 1.33Pa)、中真空泵(壓強在 10?2-1.33Pa)、高真空泵(壓強在 10??-10?2Pa)及超高真空泵(壓強小于 10??Pa)。
應用領域:真空泵廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。例如在冶金行業中用于真空冶煉;在化工行業中用于真空蒸餾、真空干燥等;在食品行業中用于食品包裝、真空冷凍等;在電子鍍膜行業中用于提供高真空環境以保證鍍膜質量。