去離子水是指去除離子狀態雜質的水體，一般采用蒸餾、電滲析、離子交換、膜分離、EDI等工藝制取。考評去離子水的純度的技術指標主要從四方面考量：

    1、關鍵參數水的導電性及電阻值，數值愈大離子態雜質愈少，依據不同行業的需求電阻值要求在0.1-18.2兆歐間；

    2、顆粒度雜質的含量，超純水要求顆粒度（PARTICLE）0.2um≤5PCS/ML,一般采用微孔過濾或超濾控制；

    3、有機碳含量的控制，超純水TOC控制在TOC<10ppb；

    4、微生物指標的控制，微生物每1毫升為0～10個。

 去離子水用途：

    1、用于制藥用水，產水滿足中國藥典GMP標準；

    2、玻璃鍍膜、金屬表面處理用水；

    3、電子行業廣泛用于單晶硅半導體集成電路塊，顯像管制造系統；

    4、化工產品配方用水；

    5、電鍍行業沖洗用純水；

    6、食品、化妝產品用水；

    7、精密產品加工用水。