層流式質量流量計

層流式質量流量計利用層流元件內兩端壓力差來測量流體的質量流量。處于湍流狀態(tài)的流體經過層流元件時，通過縮小層流片間距及改變流體速度使之作層流運動，壓差傳感器測得層流片內兩端壓力差，由此便可通過泊肅葉定律計算得出體積流量，再由已知溫度和壓力下的修正密度換算成質量流量。
如ALICAT一系列氣體質量流量計&質量流量控制器、水流量計&水流量控制器均采用層流壓差技術。

熱式質量流量計
熱式流量計通過熱量變化來測量流體的流量，通常有兩種方法。*種方法是測量保持加熱元件溫度不變所需要的電流 ，流體流經加熱元件時，與其相接觸的氣體微粒將帶走其表面熱量，當流量增大時，所需要的保持加熱元件溫度不變的電流也越大，該電流與質量流量成正比。另一 種方法則是測量加熱元件或火線兩端的溫度，流體通過加熱元件時會帶走其表面熱量，所以加熱元件前端的溫度要高于后端，其兩端溫差與流經流體的質量流量成比例。

科里奧利質量流量計
科里奧利流量計利用科里奧利效應來測量流體的質量流量。使流體通過一根或兩根并排U形管，振動U形管，作用于流體微粒上的科里奧利效應力與振動及流動方向 垂直。當管子向上振動時作用于向下，但由于流體溢出U形管其作用力向上，于是產生了扭矩；管子向下振動時則反之。U形管內的扭矩與通過流體的質量流量直接成正比。

如RTF質量流量計就是此類型的氣體質量流量計。