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中國國家電子級超純水GB/TII446.1－1997標準
指標\級別 | EW－Ⅰ | EW－Ⅱ | EW－Ⅲ | EW-Ⅳ |
電阻率 MΩ，cm(25℃) | 18以上，（95％時間）不低于17 | 15，（95％時間）不低于13 | 12.0 | 0.5 |
全硅，zui大值,μg/L | 2 | 10 | 50 | 1000 |
＞1μm微粒數，zui大值，個/mL | 0.1 | 5 | 10 | 500 |
細菌個數，zui大值，個/mL | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 |
銅，zui大值，μg/L | 0.2 | 1 | 2 | 500 |
鋅，zui大值，μg/L | 0.2 | 1 | 5 | 500 |
鎳，zui大值，μg/L | 0.1 | 1 | 2 | 500 |
鈉，zui大值，μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 1000 |
鉀，zui大值，μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 500 |
氯，zui大值，μg/L | 1 | 1 | 10 | 1000 |
硝酸根，zui大值，μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
磷酸根，zui大值，μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
硫酸根，zui大值，μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
總有機酸，zui大值，μg/L | 20 | 100 | 200 | 1000 |
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