一、儀器外表擦拭步驟：
   1. 先用干細棉布或擦拭紙擦拭儀器外表，以擦拭其灰塵或油污等，小心注意其儀器外表勿受傷。
   2. 再用干凈細干棉布沾上工業用酒精，擦拭儀器外表，尤其金屬及非金屬表面。
   二、儀器花崗巖表面擦拭步驟：
   1. 先用干細棉布或擦拭紙擦拭花崗巖表面，以擦拭其灰塵或測量后機件的油污等。
   2. 再用干凈細干棉布沾上工業用酒精，擦拭花崗巖外表面，酒精具揮發性會自然蒸發。
   3. 必要時，可使用花崗巖保養油再擦拭。
   三、儀器鏡面擦拭步驟：
   1. 先用拭鏡紙輕輕擦拭鏡面表面，勿用力以免傷及鏡面。
   2. 再用棉花棒沾工業用酒精，輕輕擦拭鏡面表面，并需等酒精揮發后，再裝回去。
   3. 鏡面擦拭可區分成校正玻璃片及鏡頭內透鏡組，由于灰塵粒子會造成成像的黑點，鏡面擦拭至為重要，裝置后需重新借著影像觀察擦拭結果。
   四、儀器傳動部分：分干磨擦部分及潤滑部分，干磨擦部分又有氣浮軸承及無牙絲桿傳動機構之區分。
干磨擦部分保養步驟：
   1. 先用干細棉布或擦拭紙擦拭磨擦表面，以擦拭其灰塵或油污等。
   2. 也可使用吹氣壺，將灰塵吹掉。
   3. 必要時，可再用干凈細干棉布沾上工業用酒精或潤滑油，擦拭磨擦表面。
   潤滑部分保養步驟：
   1. 先用細棉布將灰塵擦拭干凈。
   2. 潤滑部分再加入潤滑機油、或由黃油槍加入。