蔡司ZEISS METROTOM工業CT斷層掃描測量機由于系統設計應盡可能緊湊，來獲取更高的射線利用率和更佳的圖像質量，因此必須結合不同的工件尺寸來考慮機器的尺寸。零件尺寸不外乎三種情形：小、大或是兩者兼有。

密度分辨率 - 探測器的密度分辨率，或成為動態特性，是除了像素尺寸以外的另一個十分重要的參數，尤其是對于材料缺陷檢測這類應用。[3] 它決定了一款探測器能夠探測材料內部密度微小變化的能力。相比14位探測器(214階灰度)。

蔡司ZEISS METROTOM工業CT斷層掃描測量機一款16位(216階灰度)探測器能夠分辨4倍之多的不同灰度變化。換言之，高位數的探測器能夠更好地將圖像中的噪聲和有用信息加以區分。

　　蔡司ZEISS METROTOM工業CT斷層掃描測量機在另一方面，X射線管是一個CT系統中為為重要，同時也為昂貴的部件之一。對于檢測小尺寸工件來說，高能量射線管和大尺寸機器既不實用也不經濟。

　　后也是非常重要的一點，軟件對于工業CT系統的終性能也起到了非常重要的作用。從圖像獲取、探測器數據讀出、A/D轉換、三維重建到數據評價，每一步都包含了復雜的算法和大量的計算。好的軟件能夠使系統各個部件很好地協同工作，并發揮出系統的性能。

工業CT的硬件決定了這個系統理論上的性能極限，而軟件則決定了系統終達到的實際性能。由于工業CT系統越來越多地用于幾何尺寸與形位公差測量，測量軟件的選擇也成為了一個關鍵因素。

蔡司ZEISS METROTOM工業CT斷層掃描測量機對于幾何尺寸與形位公差測量，其要求不同于其它檢測，只有經過專業機構認證的測量軟件才能保證可靠的測量結果。