Microsense(美國KLA子公司) 高精度電容式位移傳感器

*，中國區總代理——岱美儀器技術服務（上海）有限公司

        精密電容式位移傳感器，用于精確位置測量短距離高分辨率的非接觸式位置測量與任何市售電容式位移傳感器相比，MicroSense的電容式位移傳感器提供的噪聲性能低，可實現納米甚至皮米分辨率。有幾種類型的傳感器可供使用-這些“”電容式位置傳感器針對高穩定性和線性度或針對快速響應的測量帶寬進行了優化。

所有MicroSense®精密電容式傳感器的特點：

·         *非接觸式電容位置測量-現有機器精確的電傳感技術

·         檢測任何導電的，接地的目標-表面光潔度或材料對精度沒有影響

·         針對較短的測量范圍進行了優化10微米至4毫米，具體取決于傳感器的尺寸

電容式位移傳感器-應用

與其他類型的精密位置傳感器相比，電容式位移傳感器具有以下主要優勢–

·        電容式位移傳感器可在短范圍內（通常從10微米到2毫米）提供高達納米級的高分辨率。

·         電容式位移傳感器是*非接觸式的，可與導電的接地目標一起工作

·         電容式位移傳感器提供高測量帶寬–取決于型號，可達10KHz，20KHz或100KHz

一、型號簡介：

  1 、被動式高精度電容位移傳感器：代表型號：48XX 系列，88XX系列，Mini系列

  被動式電容傳感器為一種非接觸式精密位置傳感器。基于追求的線性和穩定性而設計，其測量帶寬高達20千赫-于伺服系統位置反饋和快速機床伺服應用理念。

  2 、主動式高精度電容位移傳感器：代表型號，58XX系列，68XX系列

  -----突破納米分辨率壁壘——實現亞納米分辨率與快速響應-高達100千赫帶寬!

  6810型高分辨率電容式傳感器提供了*的位置和位移性能測量。6810是專為“高動態”測量高速旋轉或振蕩的物體，如精密硬盤驅動主軸電機、精密空氣軸承主軸和機械軸承

  機床主軸應用，主要應用與分辨率要求在1-2nm或更小的跳動測量( run out measurement)，如軸向和徑向NRRO不可重復運行或異步誤差運動(NRRO-non-repeatable run out or asychronous error motion)。

 二、 性能：

  1) 測量距離--± 5 um 到± 2 mm內非接觸式位移測量和尺寸測量的理想選擇

  2) 高測量帶寬(高頻率響應)可選-- 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz and 100 kHz

  3) 適用于任何接地，導電的目標--材料或表面光潔度對精度沒有影響

  4) 高分辨率—可實現亞納米級分辨率，據傳感器探頭尺寸，帶寬，測量距離共同決定

  5)線性度— 優于滿量程測量的0.025%， 據傳感器探頭尺寸，帶寬，測量距離共同決定

 三、 應用：

  1 定位功能 ：

  1)用于伺服反饋傳感器納米定位器

  2)快速機床私服系統定位

  2 距離和位移測量：

  1)尺寸測量和檢驗

  2)轉軸位移測量

  3 跳動測量：

  1)精密馬達和轉軸的跳動測量

  2)主軸計量與主軸跳動測量

  3)精密樣品臺的直線度和平面度測量

  4 厚度測量 ：

  1)磁性介質厚度測量

  2)藍光光盤模具厚度測量

  5 自動對焦和調零：

  半導體晶片表面檢測(聚焦平面控制)

  6 振動測量：

  1)精密工作臺振動測量

  2)傳動軸振動測量

  3)主動隔震系統伺服反饋系統

四、產品原理簡圖