Microsense高精度電容式位移傳感器、微位移傳感器、納米定位位移傳感器、電容式微位移傳感器

Microsense（美國KLA子公司） 高精度電容式位移傳感器

*，中國區(qū)總代理—岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司

聯(lián)系地址：北京市房山區(qū)長陽鎮(zhèn)啟航3期5號(hào)樓801

一、優(yōu)勢(shì)簡介：

Microsense高精度微位移納米定位傳感器具有一般非接觸式儀器所共有的非接觸式特點(diǎn)外，還具有信噪比高，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁*力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。在國內(nèi)研究所，高等院校、工廠等部門得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種*的測(cè)試儀器。

二、特點(diǎn)：

1 近距離高精度非接觸式位置測(cè)量

2 可達(dá)亞納米級(jí)直至皮納米級(jí)別分辨率，為世界上所有商用電容傳感器中噪音性能***品牌

3 可基于無論是高穩(wěn)定性和線性還是測(cè)量帶寬而提供多種型號(hào)探頭“應(yīng)用定制化”的優(yōu)化方案。

4 單一通道或多通道（3U歐洲卡機(jī)架安裝標(biāo)準(zhǔn)）可選

三、型號(hào)簡介（Microsense高精度微位移納米定位傳感器）：

1 被動(dòng)式高精度電容位移傳感器：代表型號(hào)：48XX 系列，88XX系列，Mini系列

被動(dòng)式電容傳感器為一種非接觸式精密位置傳感器。基于追求的線性和穩(wěn)定性而設(shè)計(jì)，其測(cè)量帶寬高達(dá)20千赫-于伺服系統(tǒng)位置反饋和快速機(jī)床伺服應(yīng)用理念。

2 主動(dòng)式高精度電容位移傳感器：代表型號(hào)，58XX系列，68XX系列

-----突破納米分辨率壁壘——實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率與快速響應(yīng)-高達(dá)100千赫帶寬!

6810型高分辨率電容式傳感器提供了進(jìn)的位置和位移性能測(cè)量。6810是專為“高動(dòng)態(tài)”測(cè)量高速旋轉(zhuǎn)或振蕩的物體，如精密硬盤驅(qū)動(dòng)主軸電機(jī)、精密空氣軸承主軸和機(jī)械軸承

機(jī)床主軸。

主要應(yīng)用與分辨率要求在1-2nm或更小的跳動(dòng)測(cè)量（ run out measurement），如軸向和徑向NRRO不可重復(fù)運(yùn)行或異步誤差運(yùn)動(dòng)（NRRO-non-repeatable run out or asychronous error motion)。

四、性能：

1）   測(cè)量距離--± 5 um 到± 2 mm內(nèi)非接觸式位移測(cè)量和尺寸測(cè)量的理想選擇

2）   高測(cè)量帶寬（高頻率響應(yīng)）可選-- 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz and 100 kHz

3）   適用于任何接地，導(dǎo)電的目標(biāo)--材料或表面光潔度對(duì)精度沒有影響

4）   高分辨率—可實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)分辨率，據(jù)傳感器探頭尺寸，帶寬，測(cè)量距離共同決定

5）   5）線性度— 優(yōu)于滿量程測(cè)量的0.025%， 據(jù)傳感器探頭尺寸，帶寬，測(cè)量距離共同決定

五、應(yīng)用：

           1 定位功能 ：

          1）用于伺服反饋傳感器納米定位器   

          2）快速機(jī)床私服系統(tǒng)定位

           2 距離和位移測(cè)量：   

          1）尺寸測(cè)量和檢驗(yàn)    

          2）轉(zhuǎn)軸位移測(cè)量

3 跳動(dòng)測(cè)量：

1）精密馬達(dá)和轉(zhuǎn)軸的跳動(dòng)測(cè)量

2）主軸計(jì)量與主軸跳動(dòng)測(cè)量  

3）精密樣品臺(tái)的直線度和平面度測(cè)量

4 厚度測(cè)量 ：

1）磁性介質(zhì)厚度測(cè)量

2）藍(lán)光光盤模具厚度測(cè)量

5 自動(dòng)對(duì)焦和調(diào)零：

半導(dǎo)體晶片表面檢測(cè)（聚焦平面控制）

6 振動(dòng)測(cè)量：

1）精密工作臺(tái)振動(dòng)測(cè)量  

2）傳動(dòng)軸振動(dòng)測(cè)量  

3）主動(dòng)隔震系統(tǒng)伺服反饋系統(tǒng)

應(yīng)用示例】

平面度測(cè)量：

直線度測(cè)量：

轉(zhuǎn)軸跳動(dòng)測(cè)量：