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VTC-100PA 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)
- 公司名稱 杭州精兢檢測(cè)儀器有限公司
- 品牌 Veiyee/蔚儀
- 型號(hào) VTC-100PA
- 產(chǎn)地 杭州
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/7/22 12:54:11
- 訪問(wèn)次數(shù) 1551
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
|---|
真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)
1、引言
適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。
2、主要技術(shù)指標(biāo)
電機(jī)功率：350W
電源：AC220V 50Hz
速度范圍：500rpm-10000rpm
程序運(yùn)行：可儲(chǔ)存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段
增減速率設(shè)置范圍：100rpm/s-2000rpm/s
時(shí)間范圍：0-60s
吸盤：?19mm、?60mm
本機(jī)可選配加熱功能：加溫范圍RT-150℃； 加熱蓋，水槽及吸盤采用耐高溫材質(zhì)聚四氟；溫度單獨(dú)控制，與主機(jī)程序控制無(wú)關(guān)聯(lián)；
尺寸：450mm×280mm×340mm
重量：20kg
主要特點(diǎn)包括：
真空吸附方式固定樣件，操作簡(jiǎn)便
使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片
根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡(jiǎn)單
設(shè)有12組程序，每組包含6個(gè)運(yùn)行階段
電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性
真空度最大可以達(dá)到-0.08MPa
本機(jī)可選配加熱功能：加溫范圍RT-150℃
技術(shù)參數(shù)如下
電機(jī)功率：350W。
速度范圍：500rpm-10000rpm。
程序運(yùn)行：可儲(chǔ)存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段。
增減速率設(shè)置范圍：100rpm/s-2000rpm/s。
時(shí)間范圍：0-60s。
吸盤：?19mm、?60mm。
真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)
一、核心原理
通過(guò)在真空或可控氣氛環(huán)境中高速旋轉(zhuǎn)基材，利用離心力將涂覆溶液均勻鋪展成薄膜。核心流程包括：
樣品固定：基材通過(guò)真空吸盤吸附（真空度達(dá)-0.08MPa），或卡盤夾持/粘接固定（真空環(huán)境下適用）
涂膜階段：
低速注膠階段：轉(zhuǎn)速500-2000rpm，確保溶液覆蓋基材表面
高速勻膠階段：轉(zhuǎn)速提升至1000-20000rpm（不同機(jī)型上限不同），離心力使溶液形成均勻薄膜
環(huán)境控制：可選真空（腔體真空度達(dá)1Torr）或惰性氣體（如Ar、N?）環(huán)境，防止材料氧化
二、技術(shù)特點(diǎn)與關(guān)鍵參數(shù)
程序控制：
支持多段程序（如12組程序×6階段或16段），每段獨(dú)立設(shè)置轉(zhuǎn)速（100-20000rpm）、加減速率（100-6000rpm/s）及時(shí)間（1-600s）
核心組件：
電機(jī)：直流無(wú)刷電機(jī)，低振動(dòng)、高穩(wěn)定性（轉(zhuǎn)速偏差±1%）
腔體材質(zhì)：聚丙烯（耐強(qiáng)酸/堿）或聚四氟乙烯（耐高溫至200℃）
真空系統(tǒng)：無(wú)油真空泵（抽速≥70L/min），避免油污染
安全防護(hù)：
開(kāi)蓋急停功能，運(yùn)行中開(kāi)蓋自動(dòng)減速停機(jī)
真空檢測(cè)與定位工具，防止樣品偏心飛脫
三、典型應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體與電子：晶圓光刻膠涂覆、集成電路封裝
光學(xué)器件
材料科研：
強(qiáng)腐蝕性溶液（如酸性蝕刻液）的薄膜制備
易氧化材料（如鈣鈦礦）在惰性氣體或真空環(huán)境下的涂覆
工業(yè)檢測(cè)：瀝青混合料壓實(shí)度測(cè)試（馬歇爾試驗(yàn)）
四、選型關(guān)鍵因素
樣品兼容性：
吸盤尺寸（常見(jiàn)Φ19mm/Φ60mm/Φ153mm），支持定制微型或大尺寸吸盤。
環(huán)境需求：
真空型（如VTC-200PV）適用易氧化材料；非真空型（如VTC-100PA）適合常規(guī)溶液
特殊功能：
加熱型：VTC-100PA-II支持室溫至200℃控溫（精度±2℃），用于需預(yù)熱涂覆的材料
高轉(zhuǎn)速：VTC-100PAH可達(dá)20000rpm，滿足納米級(jí)薄膜均勻性要求
維護(hù)成本：
聚丙烯腔體耐腐蝕但需定期清潔；無(wú)油真空泵維護(hù)簡(jiǎn)單
五、主流型號(hào)對(duì)比（沈陽(yáng)科晶為例）
| 型號(hào) | 最大轉(zhuǎn)速 | 真空環(huán)境 | 加熱功能 | 適用場(chǎng)景 |
|----------------|-------------|-------------|------------|--------------------------|
| VTC-100PA | 10,000rpm | 惰性氣體 | ? | 常規(guī)酸/堿溶液
| VTC-100PAH | 20,000rpm | 惰性氣體 | ? | 高精度納米薄膜
| VTC-100PA-II| 10,000rpm | 惰性氣體 | ??（至200℃）| 高溫固化材料
| VTC-200PV | 6,000rpm | ??（1Torr） | ? | 易氧化材料（如金屬薄膜）
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