SLM代表的含義是，標準升每分鐘，標準狀態是0℃ 一個標準大氣壓

SCCM是標準毫升每分鐘，
現在這種單位，用作，微小氣體流量計，以及控制器的流量單位，廣泛應用于真空半導體行業

氣體質bai量流量計為氣體質量流量的檢測提供了可靠du的解決方案，低流量敏感、快速zhi響應及dao量程比寬使得這款儀表成為許多重要氣體應用領域的選產品、Steel-Trak傳感器自動溫度補償溫度和壓力，使質量流量輸出更加穩定可靠。它在氣體測量方面的優勢特別明顯，尤其在壓力小、氣體成分復雜的情況下。它同其他流量計相比有著壓力和溫度損失小、量程比寬、小量程段靈敏等優點。

目前上氣體流量測量比較可靠和測量準確度較高的流量計是采用質量流量計，其中較為成熟的是 BROOKS布魯克斯質量流量計和熱式氣體質量流量計。科式質量流量計有應用的障礙和難點。

 工況流bai量和標況流量通常是在計量氣體的時候會出du現，通俗的來講，標況流量是zhi在流量計有溫度壓dao力補償的情況下同時又有具體壓力數的情況下計算出來。一般標況流量單位為Nm³/h，工況流量計計量單位為m³/h

 美國 BROOKS布魯克斯質量流量計是為了滿足有關工藝過程中對測量精度、重復性和控制方面的要求而設計的產品。