布魯克斯高精度質量流量計  來自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高溫金屬密封質量流量控制器結合出色的金屬密封泄漏完整性，為高溫氣體測量和控制提供了的性能，具有多種選擇，允許較大的應用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩定的傳感器，其提供與流速線性相關的電氣輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動歸零電路。

 布魯克斯高精度質量流量計特點

• 高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
• 寬流速范圍（0.003 - 100 slpm）
• 高純度 VAR 316L 不銹鋼
• 無磨粒
• 氦泄漏檢查端口
• 常閉閥（可選常開閥）
• 電致動閥復位
• 低命令流量斷流
• TTL 兼容"關閥"功能

優勢

• 穩定、可靠的產品平臺
• 高流量，高達 100 lpm（N2 當量）
• 全金屬流路提高氣體純度及減少泄漏
• 僅使用模擬輸入/輸出容易安裝和維修

應用

• 光纖制造——MCVD，OVD，AVD
• 水汽流量控制
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  準確和可重復的過程控制：這是半導體和電子制造業的根本驅動因素。由于每代工具、工藝和節點都具有連續性，已經開發出來并得以部署，所以半導體流量和壓力計的*和超高性能要求以及對不斷創新和改進的需求，在現在乃將來都不會停止。

  Brooks Instrument 按這些要求提供本行業的流量、壓力、真空和蒸汽輸送解決方案。我們的半導體產品組合包涵了我們創造眾多突破性測量和控制設備的數十年經驗，這些設備現已成為本行業各層次工藝設備的標準部件。

  您選擇 Brooks Instrument 半導體產品，即選擇了我們的獨到見解和資源，只有我們才能利用這些處理 FEOL 和 BEOL 的基本流程并迎接產量方面的挑戰：

• 專業：*的半導體工具制造商期待 Brooks 員工用他們*的專業技術和獨到見解，對流量和壓力的測量和控制技術精益求精，應對*的工藝氣體、設備腔體接合以及生產力方面的挑戰。
• 準確：Brooks 的儀器為客戶提供適用、特別應用的準確度、耐用度，重要的是重復性，幫助客戶管理飛漲的工具成本。我們一直不斷投資改善我們的產品組合，所以我們的每臺設備都有助于提高過程控制，終轉化為生產力和產量。
• 可靠：Brooks 的半導體產品采用的是較高質的鋼與合金、高性能數字電子技術和獲得的傳感器設計，能提供數十年的可重復性準確測量和控制，尤其是在與外來工藝氣體相互作用時。
• 焦點：Brooks 專注流量和壓力的測量和控制，服務能力不斷提升，業務遍及各國，能對儀器問題作出較快響應，并對其提供的半導體產品提供更好的生命周期支持。
• 支持：我們支持并提供應用專業技術、定制計量配置、服務和產品選擇幫助。