控制面板

· 蒸汽壓力、ALD以及氣體流量參數(shù)均可通過一6英寸接觸屏由PLC進行控制 

· 兩個ALD進氣閥 

· 請點擊下圖查看控制面板（點擊圖片查看詳細資料）

ALD進氣閥 

兩個ALD脈沖電磁閥（最小可在10ms完成閥門的開啟或關(guān)閉）

精密液體氣相發(fā)生器 

精密液體氣相發(fā)生器包含在本系統(tǒng)中并且連接到ALD進氣閥

雙溫區(qū)管式爐

 · 連續(xù)工作的最高溫度為1100℃

 · 兩個溫區(qū)由兩個獨立的溫控系統(tǒng)來控制，而且都為PID30段程序化控溫 

 · 每個加熱區(qū)長度為200mm，加熱區(qū)總長度為400mm 

 · 爐管兩端放置管堵時兩溫區(qū)的最大溫度差為500℃

 · 輸入電壓：208-240V AC，單向最大功率為4KW

防腐型數(shù)顯真空計

 · 測量范圍：3.8x10-5 -1125 Torr

 · 耐腐蝕 

 · 對于氣體的壓力檢測具有較高的精確度和重復(fù)性

 · 可實現(xiàn)快速的氣體監(jiān)測，響應(yīng)時間較短易于更換插頭及傳感元件

真空泵（選配）

 · 管內(nèi)真空度可達10-2Torr 真空泵不包含在本系統(tǒng)內(nèi)，如您進行CVD實驗可點擊下圖選購無油渦旋真空泵

混氣系統(tǒng)

 · 可選購氣液混合裝置，用于CVD系統(tǒng) 

· 可選購恒溫控制模塊

更新觀念

 · 您可采用ALD設(shè)備搭建等離子增強原子層沉積+化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PE-ALD+CVD）和等離子增強原子層沉積+物理氣相沉積+化學(xué)氣相沉積ALD+PVD+CVD），用于生長各類材料

質(zhì)保期 

一年保質(zhì)期，終身維護（不包含爐管，加熱元件和密封圈）

質(zhì)量認證

 · 如您另付費用，我們可保證單臺儀器通過TUV（UL61010）或CSA認證

注意事項 

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa 會更加精確安全· 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊· 點擊此處了解如何選擇本公司石英/陶瓷管以及管式爐真空法蘭本公司有權(quán)隨時修改PE-CVD系統(tǒng)的設(shè)計不再另行通知，但我們保證修改之后的儀器質(zhì)量可以達到和超過上述標準