3D光刻是增材制造的一種，基于光固化的原理，是一種前沿的制造技術(shù)，以傳統(tǒng)光刻技術(shù)為基石，意在構(gòu)筑繁雜的、高精度的三維結(jié)構(gòu)器件。該技術(shù)借助逐層光固化的工作模式，循序漸進地構(gòu)建出所需的三維結(jié)構(gòu)。其凸顯出顯著的特性，囊括了精度以及多層次的結(jié)構(gòu)。3D光刻的應(yīng)用范疇寬泛，涵蓋微電子、光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等眾多關(guān)鍵領(lǐng)域。

托托科技的3D光刻技術(shù)源自其2D光刻技術(shù)，在2D光刻領(lǐng)域長期的技術(shù)積淀，致使托托科技的3D光刻設(shè)備具備一出世就站在了一個更高的起點。托托科技3D光刻技術(shù)的持續(xù)發(fā)展與演進，為相關(guān)領(lǐng)域的創(chuàng)新給予了強有力的支撐，促使制造更為復(fù)雜和高性能的器件成為可行，也為未來的科技發(fā)展開啟了廣闊的前景。

超高光學(xué)分辨率1μm、高精度3D接駁、自動化掃描聚焦、適合多種樹脂/陶瓷材料成形。

織雀PL-3D 是托托科技自主研發(fā)的桌面式高精密微納3D光刻設(shè)備，光學(xué)精度達5μm。在復(fù)雜三維微納結(jié)構(gòu)、高深寬比微納結(jié)構(gòu)以及復(fù)合材料三維微納結(jié)構(gòu)制造方面具有突出的潛能和優(yōu)勢，而且還具有制造周期短、打印成本低、成型精度高、可使用材料種類多、無需掩膜版或模具直接成型的優(yōu)點。

超高精度微納3D光刻設(shè)備織雀PL-3D設(shè)備亮點：

光學(xué)精度5μm

打印層厚<5μm

最小料池體積15ml

支持陶瓷材料

光學(xué)實時監(jiān)控

超高精度微納3D光刻設(shè)備織雀PL-3D設(shè)備應(yīng)用案例：

樣品名稱：微針尖

整體尺寸：11.2 mm x 8.3 mm x 1.06 mm

尖直徑：5.75 μm

材料：PC01

樣品名稱：陶瓷超材料

整體尺寸：4 mm x 4 mm x 4.3 mm

最小桿徑：30 μm

材料：CA03

樣品名稱：微彈簧

整體尺寸：4 mm x 4 mm x 6 mm

桿徑：55 μm

材料：TA05