隨著電子產業向高精度、高效率、綠色化方向加速升級，真空技術已成為貫穿電子制造全鏈條的核心支撐。作為真空技術企業，貝克真空泵通過模塊化系統設計、跨行業工藝適配、智能化控制技術，為半導體、光伏、LED、OLED及封裝領域提供全場景解決方案。



半導體制造：納米級工藝的真空基石
核心工藝挑戰  
- 污染控制：油分子殘留導致晶圓缺陷  
- 能耗占比：真空系統占晶圓廠總能耗15%-25%  
- 穩定性要求：3nm制程需真空度波動＜±0.03%  

貝克技術方案 
- 干式真空泵矩陣 
  - COBRA螺桿泵：無油設計滿足蝕刻/離子注入潔凈度要求（顆粒數＜5/m3）  
  - R5羅茨泵組：多級串聯實現CVD設備10?? Pa超高真空  
- 智能節能系統  
  - 變頻驅動+余熱回收，綜合能效提升40%  
  - 某12英寸晶圓廠實測數據：年節電2.3億度，減碳14.6萬噸  

光伏電池生產：高效能制造的真空引擎
技術演進需求 
- PERC/TopCon/HJT技術對鍍膜均勻性要求提升至±1.5%  
- 硅片薄化至130μm需真空吸附零損傷  

貝克創新應用 
- 鍍膜真空解決方案 
  - 耐粉塵設計泵體，連續運行壽命突破30,000小時  
  - 閉環壓力控制，膜厚均勻性達99.8%  
- 硅片搬運系統  
  - 氣動真空發生器實現0.1秒快速抓取  
  - 表面接觸壓力＜0.05MPa，碎片率降低至0.01%  

典型案例：  
隆基某5GW TOPCon產線部署貝克真空系統后：  
- 鍍膜速度提升28%，靶材利用率達92%  

- 整線能耗降低19%，獲TüV零碳工廠認證  

LED外延生長：MOCVD設備的真空心臟
行業痛點  
- 外延片波長均勻性要求±1nm  
- 氦氣等工藝氣體回收率不足80%  

貝克技術突破 
- 復合真空系統 
  - 螺桿泵+羅茨泵組合，抽速達2800m3/h  
  - 特殊涂層技術耐受NH?/H?腐蝕性氣體  
- 氣體回收模塊
  - 氦氣回收效率提升至95%，年節省成本超￥200萬/臺  

實測數據：  
三安光電6英寸MiniLED產線應用后：  
- 外延片波長均勻性±0.8nm  
- 設備稼動率從82%提升至93%  

OLED蒸鍍：極限真空下的精密藝術
工藝極限要求 
- 蒸鍍腔體真空度需達10?? P a 級  
- 有機材料純度要求99.9999%  

貝克解決方案 
- 磁懸浮分子泵系統
  - 零機械接觸，極限真空度5×10?? Pa  
  - 振動值＜0.5μm，避免微腔塌陷  
- 多腔體聯動控制 
  - 8腔室真空系統同步精度±0.5%  
  - 換型時間縮短至15分鐘  

應用成效：  
京東方第6代OLED線采用后：  
- 蒸鍍良率從91.2%提升至98.7%  
- 材料損耗率降低37%  

封裝：微米級精度的真空掌控
技術發展需求 
- 3D封裝TSV通孔深寬比＞10:1  
- 芯片翹曲控制＜5μm  

貝克核心方案
- 多級真空系統  
  - 渦旋泵+螺桿泵組合，0.01秒快速抽真空  
  - 支持Flip Chip/BGA/CSP全封裝工藝  
- 潔凈環境控制 
  - ISO Class 4級潔凈度（微粒＜10/m3）  
  - 溫控精度±0.3℃，降低熱應力變形  

客戶實證：  
長電科技FC-CSP產線改造項目：  
- 封裝效率提升35%，CPK值從1.1升至1.8  
- 設備綜合效率（OEE）達89.3%  

跨行業技術協同創新 貝克全場景技術平臺

電子行業真空技術趨勢前瞻
- 納米級檢漏：氦質譜儀靈敏度達1×10?12 Pa·m3/s  
- 數字孿生系統：虛擬調試縮短設備上線周期60%  
- 綠色真空：可再生材料泵體+零氟利昂設計  
- AI預測維護：故障預警準確率＞95%，備件庫存優化30%    貝克真空泵電子行業全場景應用