ZTT200是垂直升降與水平調平三軸一體式精密定位平臺，利用三個直線電機驅動，采用精密球形鉸鏈耦合，具備非常優秀的微動精度和動態性能，整體高度小，尺寸精巧，厚度60mm，臺面直徑200mm，負載能力可達8kg，兼容潔凈室環境使用。

ZTT200是一款兼具點到點的靜態定位精度，同時具備非常突出的動態精度，可以適應對微動和動態跟隨誤差要求嚴格的晶圓檢測、光學對準、面板檢測或者無掩膜光刻等應用，可以根據傳感器聚焦高度實時調整高度和角度姿態，解決客戶的運動控制難題。

ZTT200平臺最小步進測試

100nm最小步進

1角秒最小步進

備注：

(1) 空載，需配置相應功率的放大器；

(2) 默認測試點位置為臺面上方25 mm。