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ART130SZ系列 直線電機機械臺-Z向單軸是納米級定位精度的垂直運動平臺，直線電機驅(qū)動，采用交叉滾柱導軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達...

ART130XY系列 直線電機機械臺是納米級定位精度的XY一體式運動平臺，直線電機驅(qū)動，采用交叉滾柱導軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達10...

ASML系列 氣浮轉(zhuǎn)臺是高精度氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺，采用旋轉(zhuǎn)電機直接驅(qū)動，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度。除了市場前沿的軸向、徑向和傾斜誤差運動性能外，ASML氣浮轉(zhuǎn)...

ASP系列 氣浮轉(zhuǎn)臺高精度氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺，采用旋轉(zhuǎn)電機直接驅(qū)動，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度。除了市場前沿的軸向、徑向和傾斜誤差運動性能外，ASP氣浮轉(zhuǎn)臺還提...

CFTCA系列 直線電機機械臺-XY是納米級定位精度的XY一體式精密定位平臺，直線電機驅(qū)動，采用精密交叉滾柱導軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截至頻率...

CUBE-4系列 定制運動系統(tǒng)是XYZT 4軸一體式精密定位平臺，XYZ采用直線電機驅(qū)動，選用精密交叉滾柱導軌，具備非常優(yōu)秀的性能和定位精度，XY軸空載截止頻率...

FLAT-XY系列 直線電機機械臺-XY是納米級定位精度的XY一體式運動平臺，直線電機驅(qū)動，采用交叉滾柱導軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達...

地心科技LAB210系列 氣浮直驅(qū)直線臺是納米級定位精度的氣浮平臺，采用直線電機驅(qū)動，利用空氣彈性勢能作為支撐導軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻...

LART系列 機械直驅(qū)轉(zhuǎn)臺是重負載型，大中空尺寸，高精度的360度連續(xù)轉(zhuǎn)臺，采用旋轉(zhuǎn)電機直驅(qū)控制，相比常規(guī)蝸輪蝸桿轉(zhuǎn)臺，它的旋轉(zhuǎn)速度會快很多，而且無齒輪間隙，有...

LPAR系列 機械直驅(qū)轉(zhuǎn)臺是大中空尺寸、高精度360度連續(xù)轉(zhuǎn)臺，采用旋轉(zhuǎn)電機直驅(qū)控制，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，相比常規(guī)蝸輪蝸桿轉(zhuǎn)臺，它速度快，無齒輪間...

RAB系列 氣浮轉(zhuǎn)臺是高精度高精度氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺，采用旋轉(zhuǎn)電機直接驅(qū)動，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度。除了市場前沿的軸向、徑向和傾斜誤差運動性能外，RAB系列...

RSML系列 機械直驅(qū)轉(zhuǎn)臺是高精度的360度連續(xù)轉(zhuǎn)臺，采用旋轉(zhuǎn)電機直驅(qū)控制，選用精密滾珠軸承，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截至頻率可達100Hz以上。...

RSMT系列 機械直驅(qū)轉(zhuǎn)臺是高精度的360度連續(xù)轉(zhuǎn)臺，采用旋轉(zhuǎn)電機直驅(qū)控制，選用精密滾珠軸承，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度。RSMT系列轉(zhuǎn)臺采用杰出的工業(yè)化...

SLM1500系列 機械龍門系統(tǒng)是笛卡爾雙驅(qū)龍門系統(tǒng)，它采用交流無刷直線電機驅(qū)動，配置非接觸式光柵尺，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度。SLM1500-500-...

SMH165SD系列 絲杠驅(qū)動直線臺是可靈活配置的機械直線運動平臺，采用交流無刷伺服電機加滾珠絲杠驅(qū)動，速度可達300mm/s。SMH165SD系列平臺可以作水...

Surface-Theta系列 機械直驅(qū)轉(zhuǎn)臺是高精度的360度連續(xù)轉(zhuǎn)臺，采用旋轉(zhuǎn)電機直驅(qū)控制，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度。Surface-Theta系列轉(zhuǎn)...

ZTT200系列 定制運動系統(tǒng)是垂直升降與水平調(diào)平三軸一體式精密定位平臺，利用三個直線電機驅(qū)動，采用精密球形鉸鏈耦合，具備非常優(yōu)秀的微動精度和動態(tài)性能，整體高度...

ZR100系列 定制運動系統(tǒng)是Z/Theta 兩軸一體式精密定位平臺，Z軸利用雙直線電機驅(qū)動，采用雙氣缸配重，可以根據(jù)負載重量靈活調(diào)整氣壓。Z軸選用精密交叉滾柱...

YZX130系列 直驅(qū)轉(zhuǎn)臺是高精度側(cè)向安裝直驅(qū)轉(zhuǎn)臺，旋轉(zhuǎn)軸采用自研S型電機直驅(qū)，具有響應速度快，定位精度高的特點。YZX130采用直驅(qū)非接觸式電機和編碼器技術，...

SC5系列 定制運動系統(tǒng)是高度集成的直線軸和旋轉(zhuǎn)軸一體的精密運動平臺，直線軸采用自研直線電機驅(qū)動，旋轉(zhuǎn)軸采用地心科技自研的大扭力S型電機直驅(qū)，具有響應速度快，定...