HX5N0系列全自動探針臺是專業(yè)綜合型高效的全自動自動晶圓探針臺，具有節(jié)省空間，高效率等特點(diǎn)，適用于4英寸、5英寸晶圓，包含二極管，三極管，MOSFET管、光電器件、傳感器和垂直結(jié)構(gòu)芯片之測量，可選配多針測試功能，可實現(xiàn)多顆同時測量之要求，提高機(jī)器的測試產(chǎn)能。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

  適用于晶圓高速自動測試，支持多路測試功能，有多樣靈活的測試方式及豐富的數(shù)據(jù)處理功能。 可實現(xiàn)自動掃描、對準(zhǔn)定位功能。產(chǎn)品也可依據(jù)不同需求定制開發(fā)各種附加功能。該結(jié)構(gòu)采用一臺全自動和半自動搭配而成，全自動探針臺也可以單獨(dú)使用，具有自動上下片功能，同時，該晶舟后方有待測晶舟緩沖區(qū)，支持測試車間自動化，自動加載晶舟，可實現(xiàn)測試車間無人化。

軟件功能介紹
1.可測試圓片，測試范圍可選，支持隔行抽測和環(huán)形測試，MAP圖可以編輯測試；
2.支持壞點(diǎn)重測；
3.具備離線打點(diǎn)、同步打點(diǎn)功能；
4.具備接觸緩沖功能，針痕穩(wěn)定；
5.運(yùn)行精度補(bǔ)償功能，保證測試的穩(wěn)定性；
6.測試良率、總數(shù)、速度顯示；
7.CCD圖像自動對準(zhǔn)定位；
8.設(shè)備具備一定的抗干擾能力，支持高低溫測試，運(yùn)行穩(wěn)定；
9.多BIN分類測試，測試數(shù)據(jù)可以存儲，可以導(dǎo)出，兼容后道設(shè)備格式使用，具有數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析功能；
10.操作員，管理員，系統(tǒng)廠家權(quán)限管理功能；