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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>掩模版和中間掩模版制造設備>掩模光刻膠處理及清洗設備>mr-NIL212FC-100nm 納米壓印光刻膠 mr-NIL212FC 系列

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mr-NIL212FC-100nm 納米壓印光刻膠 mr-NIL212FC 系列

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 邁可諾技術有限公司
  • 品牌 Micro Resist
  • 型號 mr-NIL212FC-100nm
  • 產地 德國
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2025/7/2 15:16:54
  • 訪問次數 181

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半導體化工領域專業實驗設備供應商:邁可諾是一家富有創新精神的高科技公司,專業提供光電半導體化工實驗室所需設備耗材的全套解決方案提供商,邁可諾從事開發、設計、生產并營銷質量可靠的、安全易用的技術產品及優質專業的服務,幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協助他們實現高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。




勻膠機,光刻機,顯影機,等離子清洗機,紫外臭氧清洗機,紫外固化箱,壓片機,等離子去膠機,刻蝕機,加熱板

納米壓印膠 mr-NIL212FC 系列——專為高精度、高效率軟紫外納米壓印設計的革命性材料

產品核心優勢

mr-NIL212FC 是 micro resist technology 公司專為 軟紫外納米壓印(Soft UV-NIL) 開發的液態光固化膠,結合 快速固化(FC)技術 與Excellence的刻蝕穩定性,為高難度基材(如 SiO? 等氧化物)的圖案轉移提供了一站式解決方案。其核心亮點包括:

l閃電固化:即使面對 200 nm 以下微納結構,也能在低強度紫外光源(320–420 nm)下快速完成固化,顯著提升生產效率。

lSuper strong刻蝕耐受性:相比常規型號 mr-NIL210,對 O? 等離子體及鹵素基刻蝕的穩定性提升 30% 以上,是硬質基材圖案轉移的理想掩模。

l廣譜兼容性:Perfect適配 PDMS 類彈性印章(推薦 Shin-Etsu KER-4690),同時支持 PFPE、COC 等軟質印章,以及石英、鎳等硬質印章(需搭配防粘層 F13-TCS)。

為什么選擇 mr-NIL212FC?

即用型配方:開瓶即用,通過 3000 rpm 旋涂 30 秒 即可獲得 100/200/300 nm 精準膜厚(公差±15 nm),預烘烤僅需 60°C/3 分鐘,大幅簡化流程。
工藝靈活性

l支持 紫外汞燈 或 365–405 nm LED 光源,推薦曝光劑量 >1 J/cm2

l可選 后烘烤(100°C/1 分鐘) 進一步提升刻蝕性能。

工業級可靠性:與 OpTool GMN 系列印章兼容,適合量產環境(HVM),壓印壓力 <100 mbar,缺陷率極低。

典型應用場景

l半導體先進制程:高深寬比納米線、光子晶體的批量制造。

l光學器件AR/VR 衍射光柵、微透鏡陣列的高保真圖案化。

lMEMS/傳感器:復雜三維結構的低成本快速原型開發。

技術參數速覽

特性

mr-NIL212FC-100nm

mr-NIL212FC-200nm

mr-NIL212FC-300nm

動態粘度(mPa·s)

1.5 ± 0.2

1.8 ± 0.2

2.2 ± 0.2

折射率(589 nm)

1.409

1.416

1.442

密度(g/cm3)

0.976

0.990

0.999

用戶友好設計

l基材適配:硅、藍寶石、玻璃等基材均可直接使用,推薦搭配底涂劑 mr-APS1 或 Omnicoat 以增強附著力。

l后處理簡便:殘余層可通過 O? 等離子體 快速清除,剝離選用 熱硫酸(Piranha) 或超聲輔助溶劑(PGMEA)。

l安全環保:無鹵素配方,存儲條件寬松(15–25°C),保質期 6 個月。

 



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