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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>集成電路測試與分選設備>探針臺>CAPELLA系列 MPI 探針臺

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CAPELLA系列 MPI 探針臺

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MPI全自動探針臺

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上海麥科威半導體技術有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家專業的微納材料、半導體和微電子材料及器件研發儀器及設備的供應商,所銷售的儀器設備廣泛用于高校、研究所、以及半導體和微電子領域的高科技企業。目前總部在上海,香港、南通、深圳、北京分別設立分公司和辦事處,快速響應客戶需求。同時上海麥科威在快速擴展海外市場,并設立新加坡分公司,輻射東南亞市場。

      上海麥科威半導體技術有限公司主要銷售產品包括:  - 霍爾效應測試儀;  - 快速退火爐;  - 回流焊爐,共晶爐,釬焊爐,真空燒結爐;  - 電子束蒸發鍍膜機,熱蒸發鍍膜機;  - 探針臺,低溫探針臺,微探針臺;  - 金剛石劃片機; - 球焊機,鍥焊機;  - 磁控濺射鍍膜機;  - 原子層沉積系統,等離子增強原子層沉積設備;  - 電化學C-V剖面濃度分析儀(ECV Profiler); - 掃描開爾文探針系統; - 光學膜厚儀; -貼片機-PECVD\CVD;-脈沖激光沉積系統-PLD-納米壓印;-等離子清洗機、去膠機;-反應離子刻蝕RIE; - 光刻機、無掩膜光刻機; - 勻膠機; - 熱板,烤膠板; -少子壽命、太陽能模擬器;-NMR-瞬態能譜儀-外延沉積-等離子清洗機-離子注入-劃片機、裂片機光刻機(針尖/電子束光刻機EBL,紫外光刻機,激光直寫光刻機),鍍膜機(磁控濺射機,電子束蒸發機,化學沉積機,微波等離子沉積機,原子層沉積機  等等…

企業客戶:華為技術有限公司, 深圳市鵬芯微集成電路制造, 深圳清力技術, 安徽格恩半導體, 蘇州稀晶半導體科技, 矽品半導體, 廈門海辰新能源科科, 中核同創(成都)科技, 洛瑪瑞芯片技術(常州),偉創力科技, 奧普科星河北科技,廣東五星太陽能,廣東萬和集團,西安西測股份, 普源精電科技, 普源精電科技股份, 上海蔚來汽車, 北京華脈泰科, 廣醫東金灣高景太陽能科技, 深圳匯佳成電子, 深圳市化訊半導體材料, 珠海珍迎機電, 合肥鼎材科技, 山東金晶節能玻璃, 江蘇云意電氣股份, 廣東風華技股份, 浙江中能合控股集團,固安維信諾,淮安天合光能,浙江老鷹半導體, 四川信通電子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大學, 汕頭大學, 南方醫科大學, 清華大學, 北京大學, 復旦大學, 西北工業大學, 南京醫科大學, 香港中文大學, 香港城市大學, 蘇州大學, 深圳職業技術學院, 南京大學合肥國家試驗室, 上海交通大學醫學院, 華南理工大學,華東師范大學,江南大學,重慶26所, 深圳大學, 南方科技大學, 深圳技術大學, 理化技術研究所, 中國工程物理研究院激光聚變研究中心, 廣東粵港澳大灣區黃埔材料研究院, 桂林電子科技大學, 上海硅酸鹽研究所, 中國航天五院,中科合肥智慧農業協同創新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半導體設備,快速退火爐,原子層沉積,鍵合機,光刻機

產品概述:

   探針臺是一種精密的電子測試設備,主要用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。它集成了載物臺、光學元件、卡盤、探針卡、探針夾具及電纜組件等多個部分,能夠確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩定的信號,從而進行高精度的電氣測量。探針臺根據操作方式可分為手動、半自動和全自動三種類型,每種類型都有其特定的應用場景和優勢。

設備用途:

探針臺的主要用途包括:

  1. 半導體測試:在晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環節,探針臺負責晶圓的輸送與定位,確保晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試,實現更加精確的數據測試測量。它廣泛應用于晶圓檢測、芯片研發和故障分析等應用。

  2. 光電行業測試:在光電行業中,探針臺同樣用于測試光電元件和組件的性能,確保產品的質量和可靠性。

  3. 集成電路測試:探針臺可用于集成電路的測試,包括功能測試、電參數測試等,幫助工程師評估和優化集成電路的性能。

  4. 封裝測試:在封裝工藝之前,探針臺可以對封裝基板進行測試,確保封裝過程中不會出現質量問題。

設備特點

探針臺具有以下顯著特點:

  1. 高精度:探針臺配備高精度的定位系統和微調機構,能夠精確地將探針定位到芯片上測試點,并實現穩定的接觸,確保測試的準確性和可靠性。

  2. 多功能性:探針臺可用于多種測試場景,包括晶圓檢測、芯片研發、故障分析、網絡測量等,具有廣泛的應用范圍。

  3. 自動化程度高:全自動探針臺通常配備有晶圓材料處理搬運單元(MHU)、模式識別(自動對準)等功能,能夠自動完成測試序列,減少人工干預,提高測試效率。

  4. 靈活性:探針臺可根據測試需求進行配置和調整,如可選配接入光纖,將電學探針替換為光纖,提高測試靈活性。

4  設備參數:

  出色的測試精度:短 DUT  ISP 分離,實現佳光收集,骰子偏移補償

  通過熱卡盤支持實現準確穩定的溫度控制。

  可編程拾取和放置力在5g~200g之間。

 全屏蔽暗盒設計消除了不必要的照明干擾。

  具有高引腳數探測能力(4 ~ 256 通道)的多站點測試,可實現高吞吐量。

  電學/光學特性的綜合統計和分析工具:色度 (xyz)、強度、輻照度。





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