CY-CVD1200-60-220×440×220-3TH-Q 1200℃三溫區三通道混氣CVD系統
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號 CY-CVD1200-60-220×440×220-3TH-Q
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/31 13:19:52
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磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發鍍膜儀,勻膠機旋涂儀,熔煉爐,涂布機,放電等離子燒結爐,靜電紡絲機,金剛石線切割機,RTP退火爐,晶體生長爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機,
1200℃三溫區三通道混氣CVD系統采用全彩高清觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。系統所配有的三路浮子流量計,可以較為準確的配制出實驗所需的混合氣體;另有一壓力表安裝在浮子流量計正面,可以監測氣體壓力及混合槽壓力。
適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。
1200℃三溫區三通道混氣CVD系統技術參數:
項目 明細 供電電壓 AC220V,50Hz MAX功率 5KW 加熱溫區 220mm+440mm+220mm 工作溫度 1100℃ (1200℃<1h) 控溫精度 ±1℃ 升溫速率 建議≤10℃/min 控溫方式 AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條 三溫區獨立控制,帶有過熱和斷偶保護 爐管材質 高純石英 爐管尺寸 φ60mm O.D×1300mm L 氣體通道 三通道質量流量計 氣體量程 A:100sccm B:300sccm C:500sccm 系統真空 5~10Pa(如需更高真空度可以選配其他的泵)
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