CY-CVD1200-50-300×300×300-3TH-Q 1200℃三溫區3路質量供氣高真空CVD系統
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號 CY-CVD1200-50-300×300×300-3TH-Q
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/31 13:55:01
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1200℃三溫區3路質量供氣高真空CVD系統管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。
系統所配有的三路質量流量計,精度高可靠性強,可以準確混合1~3路氣體,操作面板采用數字顯示,直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯系技術人員定制任意數量的氣路。
本系統還配有精密分子泵組,可以達到1.0E-3pa級別的真空度,較普通機械泵可以為用戶提供更純凈嚴苛的實驗環境。
技術參數:
真 空 管 式 爐 產品型號 CY-CVD1200-50-300×300×300-3TH-Q 爐管材質 高純石英 爐管直徑 50mm(可選配60mm、80mm、100mm) 爐管長度 1300mm 爐膛長度 1060mm 加熱區長 300mm+300mm+300mm 工作溫度 0~1100℃ 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 LCD 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 供 氣 系 統 產品型號 CY-3Z 氣體通道 3通道 測量部件 氣體質量流量計 測量量程 A通道:0~100SCCM H2氣 備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。 B通道:0~300SCCM N2氣 C通道:0~500SCCM Ar氣 測量精度 ±1.0%F.S 管道耐壓 3MPa 工作壓差 50~300KPa 連接管道 304不銹鋼 控制閥門 304不銹鋼針閥 接口規格 進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 供電電源 AC:220V 50/60Hz 排 氣 系 統 產品型號 CY-GZK103-A 分子泵 CY-600 前極泵 旋片泵 抽氣速率 分子泵:600L/S 綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達:1.0E-3Pa 旋片泵:1.1L/S 抽氣接口 KF40 排氣接口 KF16 真空測量 復合真空計:電阻規+電離規 極限真空 1.0E-5Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz
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