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化工儀器網>產品展廳>光學儀器及設備>電子顯微鏡>原位樣品桿/臺> MX700 晶圓傳輸平臺

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MX700 晶圓傳輸平臺

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  北京華丞電子有限公司(簡稱:華丞電子)原名北京華創流量計有限公司,在傳承四十余年流量測控經驗技術的基礎上,整合融入射頻、晶圓傳輸等專業技術優勢和創新能力,致力于為半導體、清潔能源、真空工業、生命科學及科學研究五大領域用戶,提供精密零部件產品及整體解決方案。
 
  華丞電子秉承“以客戶需求為導向的持續創新”理念,精研需求、尊重科學、潛心技術、持續創新,形成了流量測控、真空測控、氣路系統、射頻電源、ESC直流電源、匹配器、晶圓傳輸系統等系列產品。公司已布局四大研發生產基地,營銷服務體系覆蓋歐、美、亞主要國家和地區。
 
  作為精密控制的先行者,華丞電子以持續創新為己任,勇于突破自身邊界,積極探索前沿技術,以合作共贏為基礎,為全球合作伙伴貢獻華丞價值。
 

氣體質量流量計、數字氣體流量計、氨氣流量控制器、氧氣流量計、質量流量控制器

創新點

雙重傳輸方式

根據工藝需求,可實現晶圓單獨傳輸以及晶圓、托環的同時傳輸。

檢測托環偏移

具備晶圓和托環的分離/組合功能,同時可檢測托環的偏移。

位置校準

可針對托環單獨位置校準以及晶圓、托環同時進行位置校準。

應用領域

半導體顯示

半導體照明

功率半導體

技術指標

潔凈度 ISO Class 1
晶圓規格 150mm/200mm Si
晶圓規格 300mm標準晶圓(Si)
設備本底真空 <1Torr
設備漏率 傳輸腔<15mT/min,VCE<2mT/min
機械手傳片精度 <±0.1mm
傳片壓力 50mbar (可根據工藝要求進行實時控壓)
PM取片溫度 < 600℃
真空機械手 Z軸行程35mm,最遠伸出距離1010mm


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