PC100 壓力控制器
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- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/8/1 8:36:41
- 訪問次數 50
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創新點
基于PTS的壓力傳感技術
一方面通過壓力、溫度雙參量優化，建立壓力-溫度數據模板計算補償系數表進行溫度補償；另一方面，通過改進傳感器安裝位置，縮小檢測空腔體積的方式，使得傳感器信號測量更加準確，精準的控制壓力。
基于AI的壓力控制技術
通過建立壓力波動數據模型，快速識別固定流量壓力波動、固定壓力流量波動等模式。根據不同模式采用預增加或者減少閥電壓的方式進行壓力PID調節，該策略具有響應速度快、控制穩定的特點。
全金屬耐腐蝕技術
采用嵌入式襯氟比例調壓閥技術。閥密封結構主要采用316L不銹鋼和四氟材料（PTFE）。PTFE材料可提高產品的使用壽命，適用于各種類型腐蝕性氣體，同時密封性優于金屬密封。
應用領域
半導體-顯示
半導體-集成電路
半導體-照明
清潔能源-光伏
技術指標
| 型號 | PC100 |
| 壓力類型 | 絕壓 |
| 控制壓力的滿量程 | 1000Torr、1200mbar |
| 耐壓 | 3MPa |
| 閥口滿量程流量 | 50、500sccm; 1、2、3、5SLM |
| 控制方式 | 上游 |
| 溫度系數 | Zero:±0.02% of F.s./℃；Span: ±0.04% of Reading/℃ |
| 壓力分辨率 | 0.1 Torr |
| 壓力控制精度 | ±1.0% of Reading (≥10%FS); ±0.2% of F.S.(<10%FS ) |
| 響應時間 | <1.0 S |
| 工作溫度范圍 | 10℃~50℃ |
| 機械接口 | 雙卡套 1/4"、 VCR 1/4”陽接頭 |
| 閥類型 | 常閉 |
| 外漏 | <1x10-10(scc/sec He) |
| 內漏 | <1.0% of 閥口滿量程流量（閥關閉時，進氣端為 25 psig，出氣端為大氣） |
| 供電電源 | +15 ~ +24 VDC(<4 watts) |
| 電氣接口 | DB-9 針、EtherCAT接頭 |
注意：
氣體壓力控制器出廠通常用氮氣(N2)標定。
氣體壓力的單位規定為：Torr(托)；mbar(毫巴)
標準狀態規定為：溫度--273.15K（0℃ )；氣壓--101325 Pa（760mm Hg）
在華丞電子 PC 產品中，單位 SCCM 和“mL/min，0°c，1atm”等同，單位 SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。
F.S.(Full Scale)：滿量程值； S.P.(Set Point)：設定點值
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