EPC100 反應腔室壓力控制器
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/31 16:48:06
- 訪問次數 60
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創新點
基于機械氣浮活塞的多力平衡技術
凈化間壓力、重力、彈簧張力及工藝壓力，四種力作用于活塞以保持恒定的工藝壓力，對于某一壓力設定點而言，合力平衡僅取決于工藝過程壓力，從而實現排氣波動快速調節。
帶有軟遲滯補償的電機變頻控制技術
設定點不變時，活塞可以自我調節控制，設定點變化時，電機閉環控制。閉環控制過程中，根據實際壓力與設定壓力的差值，分段制定不同的閾值進行電機變頻控制，越近設定點電機運動越緩慢，從而達到壓力穩定控制。
氮氣反沖防腐蝕設計技術
結合氣流分層原理“以氣控氣”，利用高壓氮氣對低壓工藝氣體反沖，形成氣體保護層以阻止腐蝕氣體外溢，避免造成壓傳器件腐蝕，從而提高產品使用壽命。
應用領域
半導體/集成電路
半導體/封裝
功率半導體
化合物半導體
清潔能源/光伏
科學研究/實驗器材
技術指標
| 型號 | EPC100 |
| 接觸氣體材料 | 聚四氟乙烯(PTFE) |
| 壓力類型 | 相對壓力 |
| 控制壓力范圍 | -3 ~ -23mmH2O、-3 ~ -50mmH2O |
| 進氣流量范圍 | 0.3 ~ 50SLM |
| 安裝方式 | 水平安裝、垂直安裝 |
| 壓力控制精度 | 干氧工藝：S.P.±1mmH2O |
| 濕氧工藝：S.P.±2mmH2O | |
| 控制信號 | 0~5V |
| 壓力檢測口 | φ6塔型接頭 |
| Drain 接口 | 1/4 NPT內螺紋 |
| N2接口 | 1/4 卡套（40 psig ~80psig） |
| 機械進出氣接口 | 1" female NPT |
| 供電電源 | ±15V |
| 電氣接口 | 控壓閥：DB-15針 |
| 控制盒：Conxall-10孔、DB-15孔、DB-9針 |
注意：
氣體壓力控制器出廠通常用氮氣(N2)標定
氣體壓力的單位規定為：Torr(托)；mbar(毫巴) ；mmH2O (毫米水柱)
標準狀態規定為：溫度--273.15K（0℃ )；氣壓--101325 Pa（760mm Hg）
在華丞電子 PC 產品中，單位 SCCM 和“mL/min，0°c，1atm”等同，單位 SLM和“L/min，0℃，1atm”等同
F.S.(Full Scale)：滿量程值； S.P.(Set Point)：設定點值
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