PC300 壓力控制器
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/8/1 8:35:29
- 訪問次數(shù) 39
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創(chuàng)新點
產(chǎn)品全數(shù)字化
產(chǎn)品采用微處理器,具有高智能化、高可靠性,維護方便的優(yōu)勢。
雙重控制技術
產(chǎn)品采用雙重控制技術,可實現(xiàn)高響應、高精度的性能指標。
應用領域
半導體-集成電路
半導體-封裝
半導體顯示
半導體照明
半導體-微機電系統(tǒng)
功率半導體
化合物半導體
技術指標
型號 | PC300 |
滿量程流量 | (10 20 50 100 200 500 5000)SCCM |
滿量程壓力 | (10 20 50 100)Torr |
控制方式 | Downstream |
壓力控制精度 | ±0.2% of F.S. |
控制重復性 | ±0.2% of F.S. |
響應時間 | <1.0 Second |
工作溫度范圍 | 10℃ to 50℃ |
閥類型 | Normally Closed |
漏率 | <1x10-12(SCC/SEC He) |